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日東電機 DR3000III ウェハーマウンター | 半導体ウェハーマウントシステム

全自動ウェハーマウンター。200/300 mmウェハー(厚さ400 μm以上)に対応。低張力マウントにより反りを抑制。処理能力:毎時68枚。FOUP、SECS/GEM、ウェハーマッピング機能搭載。

Nitto DR3000III Wafer Mounter | Semiconductor Wafer Mounting System 機器画像
構成レビュー モデルと搭載オプション
新品/中古品 プロジェクトの利用状況によります
グローバルデリバリー 目的地別評価
技術RFQ パッケージとプロセスのマッチング

ウェハテープの品質は歩留まりに直接影響します。 日東DR3000IIIウェハーマウンター 半導体ウェハー用の高精度保護テープラミネーション加工を行います。

動的な張力調整により、ウェーハ表面全体にテープがスムーズに貼り付けられます。気泡やしわのない仕上がりをサイクル全体を通して維持し、正確な位置決めによりテープの端を完璧に整列させます。柔軟なパラメータ設定により、さまざまなウェーハ寸法やテープ材質に対応できます。

安定した連続運転により、バッチごとに均一な生産量を維持できます。これにより、実装不良によるウェハーの不良率を低減し、クリーンルーム生産における予期せぬダウンタイムを削減できます。

このウェハーマウントシステムは評価用に準備が整っております。装置の詳細と見積もりについては、お気軽にお問い合わせください。

Nitto DR3000III Wafer Mounter | Semiconductor Wafer Mounting System