เครื่องเลื่อยเลเซอร์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ DISCO DFL7341 สามารถตัดแผ่นเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว (Φ200 มม.) ด้วยเทคโนโลยี Stealth Dicing ทำงานแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบตั้งแต่การโหลดเวเฟอร์ การจัดตำแหน่งเบื้องต้น การปรับแต่งภายในด้วยเลเซอร์ ไปจนถึงการนำเวเฟอร์ออก ช่วยลดการแทรกแซงจากมนุษย์ในสายการผลิตเวเฟอร์ให้น้อยที่สุด
แตกต่างจากการตัดด้วยใบมีดแบบดั้งเดิมหรือการตัดด้วยเลเซอร์แบบอะเบลชั่น เครื่องนี้สร้างชั้นที่ปรับเปลี่ยนภายในวัสดุแทนที่จะตัดผ่านพื้นผิว กระบวนการแบบแห้งแทบไม่ก่อให้เกิดเศษวัสดุและไม่ต้องทำขั้นตอนการทำความสะอาดหลังการตัด เหมาะสำหรับ MEMS ที่ไวต่อความชื้น ไมโครโฟนซิลิคอน และอุปกรณ์ที่เสี่ยงต่อการปนเปื้อนของอนุภาค นอกจากนี้ยังให้การแยกชิ้นส่วนที่แตกหักน้อยบนวัสดุที่เปราะบาง เช่น แซฟไฟร์ ลิเธียมแทนทาเลต SiC และ GaN
ระบบตรวจจับความสูงและการจดจำรูปทรงของเวเฟอร์ในตัวช่วยชดเชยเวเฟอร์บางที่บิดเบี้ยว รักษาความสม่ำเสมอของจุดโฟกัสเลเซอร์บนพื้นผิวที่ไม่เรียบ ความสามารถในการตัดร่องแคบช่วยเพิ่มจำนวนชิปต่อเวเฟอร์ เพิ่มประสิทธิภาพการใช้วัสดุสำหรับพื้นผิว LED และการผลิตสารกึ่งตัวนำแบบผสม แพลตฟอร์มนี้รองรับสูตรการผลิต SDBG และ SDTT ทำให้สามารถบูรณาการเข้ากับกระบวนการแยกชิปต่างๆ ได้อย่างยืดหยุ่น
เราจำหน่ายเครื่องเลื่อยเลเซอร์ DISCO DFL7341 ที่ได้รับการปรับปรุงใหม่ พร้อมการตรวจสอบระบบอย่างครบถ้วน การทดสอบการทำงาน และการบำรุงรักษาหลังการขายที่ครอบคลุมมากขึ้น ติดต่อเราเพื่อตรวจสอบความพร้อมของเครื่องจักร การตรวจสอบความถูกต้องของกระบวนการ และการสนับสนุนอะไหล่
ข้อมูลจำเพาะโดยสรุป
| รายการ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| วิธีการประมวลผล | Stealth Dicing™ (การหั่นลูกเต๋าด้วยเลเซอร์แบบเงียบเชียบ) |
| ขนาดชิ้นงานสูงสุด | เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม. (8 นิ้ว) |
| วัสดุที่เกี่ยวข้อง | แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนบริสุทธิ์ (ไม่มีการเคลือบออกไซด์/โลหะในบริเวณที่ตัด) |
| ช่วงความหนาของเวเฟอร์ | 0.1–0.7 มม. |
| ขนาดแม่พิมพ์ขั้นต่ำ | 0.5 มม. ขึ้นไป |
| ความยาวคลื่นเลเซอร์ | ประมาณ 1300 นาโนเมตร |
| ความแม่นยำของความตรงตามแกน X | ≤0.002 มม./210 มม. |
| ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งแกน Y | ≤0.003 มม./210 มม. |
| ความแม่นยำในการทำซ้ำของแกน Z | 0.001 มม. |
| ความเร็วในการตัดแกน X | 1–1000 มม./วินาที |
| มิติของระบบ | 950×1732×1800 มม. |
| น้ำหนักระบบ | ประมาณ 1800 กิโลกรัม |
