半導體設備服務
真空幫浦
維修與重建
半導體乾式真空幫浦和渦輪分子幫浦的真空幫浦維修。 卡死、泵送時間延長、異常噪音或振動加劇都可能中斷運作過程。 GK-SEMI 可協助識別故障幫浦零件，修復可用設備，或在無法進行翻新時找到匹配的替代品。
服務範圍
真空幫浦維修範圍
乾式泵浦和渦輪分子泵浦需要不同的檢查方法。應從泵浦的設計、製程環境和已測量的故障現象入手，而不是採用單一的通用檢修方法。
半導體乾式泵浦
適用於轉子有沉積物、卡住、噪音或抽氣性能下降的螺桿泵、爪式泵和多級乾式泵。
- 製程殘留物及腔室檢查
- 轉子、軸承和密封件狀況
- 間隙和泵送性能檢查
渦輪分子泵浦
適用於有異常振動、軸承或懸吊故障、速度錯誤和控制器相關症狀的渦輪幫浦。
- 轉子和軸承狀況
- 速度、振動和控制器檢查
- 在適用情況下進行專業平衡
維修、重建或採購
當腐蝕、轉子損壞或零件供應不足導致原裝置修復不經濟時。
- 維修可行性及範圍
- 相容的翻新幫浦採購
- 匹配的型號、連接和應用程式
工程保證
保持您的幫浦正常運作
技術審查應能降低因維修費用過高而無法恢復可靠泵送的風險。我們將維修方案與原製程應用連結起來。
01 過程感知檢驗
製程沉積物、氣體暴露和維護歷史都很重要。我們會審核申報的介質，然後提出清潔、檢查和相應的零件維修建議。
02 相關績效檢查
維修後檢查包括根據泵浦的設計和維修範圍，檢查運作狀況、壓力性能和洩漏完整性。重新安裝後，系統抽真空測試用於確認腔室和連接的真空管路的性能。
03 匹配恢復選項
如果轉子結構損壞或零件短缺導致重建不划算，則可以轉向尋找相容的二手或翻新設備和備件。
工程標準
從檢驗到退貨
實際維修路線記錄幫浦的實際狀況，選擇合適的零件維修工作，並將台架檢查與最終系統性能分開。
製程與安全審查
披露泵送氣體和製程殘留物。在泵浦進入維修流程之前，已確認已完成處理、去污和安全運輸。
組件檢測
根據幫浦的設計，檢查轉子腔、軸承、密封件、驅動和控制介面；確定可修復和不可修復的損壞。
針對性修復與重建
根據約定，修復可用的零件並更換損壞的易損件。乾式泵浦的重建和渦輪泵浦的維修程序有所不同。
驗證與退貨
盡可能執行約定的運行和壓力檢查，然後溝通已測試的內容以及工具上仍需確認的內容。
乾泵回收
半導體製造廠的蝕刻製程設備。運轉過程中泵浦完全卡死，危及生產良率。
拆解後發現，轉子間隙處積聚了大量聚合物和矽粉塵，造成了機械阻力。關鍵發現是：轉子表面完好無損，仍可正常使用。
對燃燒室進行了徹底的化學除積碳處理，檢查了機械間隙，並更換了老化的彈性體密封件。無需對轉子進行加工。
經台架測試，確保壓力完全恢復。氦氣洩漏檢測確認密封完整性後，將原設備送回生產部門。
出貨前
真空幫浦維修常見問題解答
明確說明製程殘留、修復極限和備選方案。
被扣押的乾泵可以回收嗎？
通常情況下，如果殼體和轉子表面仍可正常使用，我們會先檢查積碳狀況、軸承損壞情況和機械間隙，然後再決定要進行清潔、針對性維修或更換。
維修後如何檢查性能？
檢查項目根據泵浦的設計和可用的測試裝置而定。檢查項目可能包括機械運行測試、極限壓力測試或洩漏評估。我們會區分台架測試結果和客戶設備上的抽真空測試結果。
如果轉子或殼體嚴重損壞怎麼辦？
嚴重的刮痕、腐蝕或結構性損壞會導致重建成本過高。我們會解釋重建的局限性，並提供尋找匹配替換件或相關備件的支援。
你們支持乾式泵浦和渦輪泵浦嗎？
是的，這兩個類別都可以進行審核，但服務範圍有很大不同。請提供製造商、型號、控制器詳細資訊和故障歷史記錄，以便我們確認可行的解決方案。
如果泵處理的是有毒或腐蝕性氣體呢？
出貨前須申報工藝氣體、殘留物及淨化狀態。安全操作和包裝說明取決於實際暴露情況；未經申報的受污染幫浦不得出貨。
真空幫浦維修需要多長時間？
工期取決於幫浦的設計、檢驗結果、更換零件和所需的測試。我們會針對特定設備提供預計工期，而不是公佈固定的通用工期。
你能找到相容的替代水泵嗎？
我們可以根據特定型號、電源、進出口連接、控制介面和製程應用來審核二手或翻新設備的採購。供貨情況需另行確認。
我應該寄送哪些資料進行初步審核？
請提供泵浦的標籤、型號、故障碼、近期運作症狀、製程介質以及任何可用的壓力或振動歷史記錄。即使在詳細報告出爐之前，照片也很有幫助。