Khi các nhà sản xuất thiết bị điện tử cần loại bỏ phần rìa wafer một cách có kiểm soát, máy PVA TePla / Technics 660 đóng vai trò là thiết bị chuyên dụng. máy khắc plasma vi sóng Dùng cho quy trình cách ly cạnh. Công nghệ plasma vi sóng không điện cực 2,45GHz của nó loại bỏ các đường rò rỉ bề mặt dọc theo rìa wafer, một bước quan trọng để tăng điện áp đánh thủng cho các chip công suất silicon.
Bộ điều khiển lưu lượng khí chính xác và môi trường chân không áp suất thấp mang lại khả năng điều chỉnh cao. độ sâu khắc cạnhBệ xoay của wafer đảm bảo việc loại bỏ wafer đồng đều xung quanh toàn bộ chu vi wafer, đồng thời giảm thiểu tối đa hư hại cho vùng thiết bị trung tâm hoạt động.
Khác với các buồng khắc đa năng, hệ thống này được thiết kế chuyên dụng cho các tác vụ cách ly cạnh. Thiết kế buồng bằng nhôm chắc chắn giúp đơn giản hóa việc vệ sinh và thay thế linh kiện, biến nó thành một công cụ xử lý thứ cấp tiết kiệm chi phí cho các dây chuyền sản xuất bán dẫn công suất hiện có.
Thông số kỹ thuật chính của PVA TePla Technics 660
| Nhà sản xuất | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Người mẫu | 660 |
| Loại thiết bị | Hệ thống khắc plasma vi sóng áp suất thấp |
| Quy trình đã cấu hình | Khắc cách ly cạnh tế bào quang điện |
| Năm sản xuất thiết bị | Năm 2008, theo danh sách trang thiết bị hiện có. |
| Giờ hoạt động đã ghi nhận | 16 giờ, theo danh sách thiết bị hiện có. |
| Tần số plasma | 2,45 GHz |
| Công suất vi sóng | 0–1.000 W |
| Vật liệu buồng xử lý | Nhôm |
| Thể tích buồng | 64 lít |
| Kích thước bên trong buồng | 400 × 400 × 400 mm |
| Đầu vào khí quy trình đã lắp đặt | Theo danh sách thiết bị, có ba đầu vào khí được điều khiển bằng MFC. |
| Sân khấu | Tùy chọn bàn đặt mẫu có đường kính 350 mm, theo danh sách thiết bị. |
| Kết nối chân không | DN 63 ISO K |
| Áp suất cơ bản | Xấp xỉ 2 × 10-2mbar |
| Áp suất quy trình | Khoảng 0,2–2 mbar |
| Thời gian sơ tán | Khoảng 1 phút |
| Bao gồm bơm hút chân không | Theo danh sách thiết bị, đây là máy bơm khô không dầu EBARA. |
| Nguồn cung cấp điện | 230 V, một pha, 16 A, 50/60 Hz |
| Kích thước xấp xỉ | 1.050 × 1.720 × 770 mm |
| Trọng lượng ước tính | 180 kg, không bao gồm bơm chân không. |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
