Apabila pengeluar peranti kuasa memerlukan penyingkiran tepi wafer terkawal, PVA TePla / Technics 660 berfungsi sebagai alat khusus pengukir plasma gelombang mikro untuk pemprosesan pengasingan tepi. Plasma gelombang mikro bebas elektrod 2.45GHznya menghapuskan laluan kebocoran permukaan di sepanjang rim wafer, satu langkah penting untuk meningkatkan voltan kerosakan untuk cip kuasa silikon.
Pengawal aliran jisim gas jitu dan persekitaran vakum tekanan rendah memberikan kebolehtalaan yang tinggi kedalaman ukiran tepiPeringkat wafer yang berputar memastikan penyingkiran seragam di sekitar perimeter wafer penuh sambil memastikan kerosakan pada kawasan peranti pusat aktif minimum.
Tidak seperti ruang etsa pelbagai guna, sistem ini dibina khas untuk tugas pengasingan tepi. Reka bentuk ruang aluminiumnya yang teguh memudahkan pembersihan dan penggantian bahagian, menjadikannya alat proses sekunder yang kos efektif untuk barisan pengeluaran semikonduktor kuasa yang matang.
Spesifikasi Utama PVA TePla Technics 660
| Pengilang | PVA TePla / Teknik |
|---|---|
| Model | 660 |
| Jenis Peralatan | Sistem Pengukir Plasma Gelombang Mikro Tekanan Rendah |
| Proses yang Dikonfigurasikan | Pengukiran Tepi Sel Suria |
| Tahun Peralatan | 2008, mengikut senarai peralatan yang ada |
| Waktu Operasi yang Direkodkan | 16 jam, mengikut senarai peralatan yang tersedia |
| Frekuensi Plasma | 2.45 GHz |
| Kuasa Ketuhar Gelombang Mikro | 0–1,000 W |
| Bahan Kebuk Proses | Aluminium |
| Isipadu Ruang | 64 liter |
| Dimensi Dalaman Ruang | 400 × 400 × 400 mm |
| Input Gas Proses Terpasang | Tiga input gas terkawal MFC, mengikut senarai peralatan |
| Pentas | Pilihan pentas berdiameter 350 mm, mengikut senarai peralatan |
| Sambungan Vakum | DN 63 ISO K |
| Tekanan Asas | Lebih kurang 2 × 10-2mbar |
| Tekanan Proses | Lebih kurang 0.2–2 mbar |
| Masa Pemindahan | Lebih kurang 1 minit |
| Pam Vakum Termasuk | Pam kering bebas minyak EBARA, mengikut senarai peralatan |
| Bekalan Elektrik | 230 V, fasa tunggal, 16 A, 50/60 Hz |
| Dimensi Anggaran | 1,050 × 1,720 × 770 mm |
| Berat Anggaran | 180 kg, tidak termasuk pam vakum |
| Keadaan | Peralatan semikonduktor terpakai |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa, pemeriksaan dan pengesahan konfigurasi |
