เมื่อผู้ผลิตอุปกรณ์ไฟฟ้าต้องการการกำจัดขอบเวเฟอร์อย่างแม่นยำ เครื่อง PVA TePla / Technics 660 จะทำหน้าที่เป็นเครื่องมือเฉพาะทาง เครื่องแกะสลักพลาสมาไมโครเวฟ สำหรับการประมวลผลการแยกขอบ พลาสมาไมโครเวฟแบบไร้ขั้วไฟฟ้าความถี่ 2.45GHz ช่วยขจัดเส้นทางการรั่วไหลของพื้นผิวตามขอบเวเฟอร์ ซึ่งเป็นขั้นตอนสำคัญในการเพิ่มแรงดันพังทลายสำหรับชิปซิลิคอนกำลังสูง
ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลก๊าซที่มีความแม่นยำสูงและสภาพแวดล้อมสุญญากาศความดันต่ำช่วยให้สามารถปรับแต่งได้อย่างละเอียด ความลึกของการกัดขอบแท่นวางเวเฟอร์แบบหมุนได้ช่วยให้การกำจัดวัสดุรอบขอบเวเฟอร์เป็นไปอย่างสม่ำเสมอ พร้อมทั้งลดความเสียหายต่อบริเวณอุปกรณ์ตรงกลางให้น้อยที่สุด
ระบบนี้แตกต่างจากห้องกัดเซาะอเนกประสงค์ทั่วไป เนื่องจากได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับงานแยกขอบ (edge isolation) การออกแบบห้องอะลูมิเนียมที่แข็งแรงทนทานช่วยให้การทำความสะอาดและการเปลี่ยนชิ้นส่วนทำได้ง่าย ทำให้เป็นเครื่องมือเสริมที่มีประสิทธิภาพคุ้มค่าสำหรับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำลังไฟฟ้าที่พัฒนาแล้ว
ข้อมูลจำเพาะหลักของ PVA TePla Technics 660
| ผู้ผลิต | พีวีเอ เทปลา / เทคนิคส์ |
|---|---|
| แบบอย่าง | 660 |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบการกัดด้วยพลาสมาไมโครเวฟความดันต่ำ |
| กระบวนการที่กำหนดค่าไว้ | การกัดเซาะขอบเพื่อแยกเซลล์แสงอาทิตย์ |
| ปีของอุปกรณ์ | ปี 2008 ตามรายการอุปกรณ์ที่มีอยู่ |
| เวลาทำการที่บันทึกไว้ | 16 ชั่วโมง ตามรายการอุปกรณ์ที่มีอยู่ |
| ความถี่พลาสมา | 2.45 GHz |
| พลังงานไมโครเวฟ | 0–1,000 วัตต์ |
| วัสดุห้องกระบวนการ | อะลูมิเนียม |
| ปริมาตรห้อง | 64 ลิตร |
| ขนาดภายในห้อง | 400 × 400 × 400 มม. |
| ปริมาณก๊าซป้อนเข้าที่ติดตั้ง | ตามรายการอุปกรณ์ระบุว่า มีช่องป้อนก๊าซที่ควบคุมด้วย MFC จำนวน 3 ช่อง |
| เวที | ตัวเลือกแท่นวางขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 350 มม. ตามรายการอุปกรณ์ |
| การเชื่อมต่อสุญญากาศ | DN 63 ISO K |
| แรงดันฐาน | ประมาณ 2 × 10-2 เอ็มบาร์ |
| แรงดันกระบวนการ | ประมาณ 0.2–2 มิลลิบาร์ |
| เวลาอพยพ | ประมาณ 1 นาที |
| รวมปั๊มสุญญากาศ | ปั๊มแห้งแบบไร้น้ำมัน EBARA ตามรายการอุปกรณ์ที่ระบุไว้ |
| การจ่ายไฟฟ้า | 230 โวลต์, เฟสเดียว, 16 แอมป์, 50/60 เฮิรตซ์ |
| ขนาดโดยประมาณ | 1,050 × 1,720 × 770 มม. |
| น้ำหนักโดยประมาณ | 180 กิโลกรัม ไม่รวมปั๊มสุญญากาศ |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
