Hệ thống PVA TePla / Technics GIGA 690 mang đến khả năng xử lý plasma vi sóng hàng loạt cho sản xuất wafer 6 inch, bao gồm cả chất bán dẫn công suất và các linh kiện rời rạc. Loại bỏ chất cản quang và làm sạch polymer sau xử lý là một trong những ứng dụng chính của hệ thống, đặc biệt là khi bề mặt wafer cần được làm sạch trước bước sản xuất tiếp theo.
Nguồn plasma không điện cực của nó tránh được sự tiếp xúc trực tiếp giữa điện cực với môi trường xử lý, giúp hạn chế ô nhiễm kim loại. Plasma oxy phân hủy các chất cặn hữu cơ, trong khi thành phần khí và điều kiện xử lý ảnh hưởng đến tốc độ loại bỏ và tác động của chúng lên các lớp màng bên dưới.
Đối với thiết bị GIGA 690 đã qua sử dụng, các yếu tố chính cần xem xét khi mua là tình trạng buồng đốt, khả năng tải theo lô, hiệu suất điều khiển plasma và hồ sơ bảo trì. Việc xác nhận cấu hình đã lắp đặt và sự sẵn có của các linh kiện thay thế có thể giúp xác định xem máy có phù hợp với dây chuyền sản xuất dự định hay không.
Thông số kỹ thuật chính của PVA TePla GIGA 690
| Nhà sản xuất | PVA TePla / Technics |
|---|---|
| Người mẫu | CAO 690 |
| Loại thiết bị | Hệ thống làm sạch và kích hoạt plasma vi sóng áp suất thấp |
| Năm sản xuất thiết bị | Năm 2010, theo danh sách thiết bị hiện có. |
| Vật liệu buồng xử lý | Nhôm |
| Thể tích buồng | 91 lít |
| Kích thước bên trong buồng | 450 × 450 × 450 mm |
| Tần số plasma | 2,45 GHz |
| Công suất vi sóng | 0–1.000 W |
| Kênh khí tiêu chuẩn | Hai kênh, mỗi kênh có bộ điều khiển lưu lượng và van điện từ. |
| Kết nối chân không | DN 63 ISO K |
| Áp suất cơ bản | Xấp xỉ 2 × 10-2 mbar |
| Áp suất quy trình | Khoảng 0,2–2 mbar |
| Thời gian sơ tán | Khoảng 1 phút |
| Điều khiển hệ thống | Bộ điều khiển dựa trên PC với màn hình đồ họa 10,4 inch. |
| Hệ điều hành | Hệ điều hành thời gian thực QNX |
| Nguồn cung cấp điện | 230 V, một pha, 15 A, 50/60 Hz |
| Cung cấp khí công nghiệp | Đầu nối Swagelok 1/4 inch, áp suất đầu vào 1–2 bar |
| Cung cấp khí nén | Kết nối Swagelok 1/4 inch, áp suất đầu vào 4–6 bar |
| Kích thước xấp xỉ | 1.050 × 1.750 × 800 mm |
| Trọng lượng ước tính | 195 kg, chỉ bao gồm hệ thống, không bao gồm bơm chân không. |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
