PVA TePla / Technics GIGA 690は、6インチウェハ製造（パワー半導体やディスクリートデバイスを含む）にバッチ式マイクロ波プラズマ処理をもたらします。フォトレジスト除去や後処理ポリマー洗浄などが主な用途であり、特に次の製造工程の前にウェハ表面を洗浄する必要がある場合に有効です。
電極を用いないプラズマ源により、電極と処理環境との直接接触を回避できるため、金属汚染を抑制できます。酸素プラズマは有機残留物を分解し、ガス組成と処理条件によって除去速度と下地膜への影響が左右されます。
中古のGIGA 690装置を購入する際の主な検討事項は、チャンバーの状態、バッチ処理能力、プラズマ制御性能、およびメンテナンス記録です。設置構成と交換部品の入手可能性を確認することで、その装置が想定される生産ラインに適合するかどうかを判断できます。
PVA TePla GIGA 690の主な仕様
| メーカー | PVA TePla / テクニクス |
|---|---|
| モデル | 最高690 |
| 機器の種類 | 低圧マイクロ波プラズマ洗浄・活性化システム |
| 機器の年式 | 2010年、利用可能な機器リストによると |
| プロセスチャンバー材料 | アルミニウム |
| チャンバー容積 | 91 L |
| チャンバー内部寸法 | 450 × 450 × 450 mm |
| プラズマ周波数 | 2.45GHz |
| マイクロ波電力 | 0～1,000W |
| 標準ガスチャンネル | 2つのチャンネルがあり、それぞれに質量流量コントローラーとソレノイドバルブが備えられています。 |
| 真空接続 | DN 63 ISO K |
| 基本圧力 | 約2 × 10⁻²ミリバール |
| プロセス圧力 | 約0.2～2ミリバール |
| 避難時間 | 約1分 |
| システム制御 | 10.4インチのグラフィックディスプレイを備えたPCベースのコントローラー |
| オペレーティング·システム | QNXリアルタイムオペレーティングシステム |
| 電源 | 230V、単相、15A、50/60Hz |
| プロセスガス供給 | 1/4インチSwagelok接続、入力圧力1～2バール |
| 圧縮空気供給 | 1/4インチSwagelok接続、入力圧力4～6バール |
| おおよその寸法 | 1,050 × 1,750 × 800 mm |
| おおよその重量 | 195 kg（システム本体のみ、真空ポンプを除く） |
| 状態 | 中古半導体製造装置 |
| 可用性 | 現在の在庫状況、検査および構成確認を条件とします。 |
