ระบบพลาสมาไมโครเวฟ PVA TePla / Technics GIGA 690 มือสอง

เครื่อง PVA TePla / Technics GIGA 690 นำเสนอการประมวลผลพลาสมาไมโครเวฟแบบเป็นชุดสำหรับการผลิตเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว รวมถึงเซมิคอนดักเตอร์กำลังสูงและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์แบบแยกชิ้น การกำจัดโฟโตเรซิสต์และการทำความสะอาดโพลีเมอร์หลังกระบวนการเป็นหนึ่งในแอปพลิเคชันที่สำคัญ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกรณีที่ต้องทำความสะอาดพื้นผิวเวเฟอร์ก่อนขั้นตอนการผลิตถัดไป

แหล่งกำเนิดพลาสมาแบบไร้ขั้วไฟฟ้าช่วยหลีกเลี่ยงการสัมผัสโดยตรงระหว่างขั้วไฟฟ้ากับสภาพแวดล้อมในกระบวนการ ซึ่งช่วยจำกัดการปนเปื้อนของโลหะ พลาสมาออกซิเจนจะสลายสารตกค้างอินทรีย์ ในขณะที่องค์ประกอบของก๊าซและสภาวะของกระบวนการจะมีผลต่ออัตราการกำจัดและผลกระทบต่อฟิล์มที่อยู่ด้านล่าง

สำหรับอุปกรณ์ GIGA 690 มือสอง ปัจจัยหลักที่ควรพิจารณาในการซื้อคือ สภาพของห้องทำงาน ความจุในการบรรจุงาน ประสิทธิภาพการควบคุมพลาสมา และประวัติการบำรุงรักษา การตรวจสอบการกำหนดค่าที่ติดตั้งและการมีชิ้นส่วนอะไหล่สำรองจะช่วยให้ทราบได้ว่าเครื่องจักรนั้นเหมาะสมกับสายการผลิตที่ต้องการหรือไม่

ข้อมูลจำเพาะหลักของ PVA TePla GIGA 690