TRANG CHỦ > Các sản phẩm > Thiết bị sản xuất wafer đầu cuối > Thiết bị xử lý nhiệt >
Thiết bị sản xuất wafer đầu cuối

Thiết bị xử lý nhiệt bán dẫn

Tìm kiếm và mua thiết bị xử lý nhiệt bán dẫn đã qua sử dụng cho quá trình oxy hóa, khuếch tán, ủ và xử lý nhiệt nhanh. Danh mục này bao gồm lò nung theo mẻ dạng đứng và nằm ngang, nền tảng RTP và RTA cho từng tấm wafer, và các hệ thống xử lý nhiệt chuyên dụng.

Đối với việc thay thế, mở rộng công suất hoặc duy trì một quy trình đã được thiết lập, mỗi hệ thống cần được xem xét dựa trên mục đích của quy trình, cấu hình ống hoặc mô-đun quy trình, ngân sách nhiệt, môi trường và việc xử lý tấm bán dẫn.

Hãy gửi thông tin về nhà sản xuất, kiểu máy, kích thước wafer hoặc cấu hình nhiệt mục tiêu để bắt đầu xem xét thiết bị phù hợp, khả năng tương thích cấu hình và các yêu cầu thực tế của nhà máy sản xuất.

Xem các thiết bị có sẵn Thảo luận về yêu cầu trang thiết bị
Lò nung theo mẻQuá trình oxy hóa đa lớp, khuếch tán và chu kỳ nhiệt dài hơn
Theo chiều dọc và chiều ngangCác bố cục, phương pháp tải và mức độ tự động hóa khác nhau
RTP / RTAGia nhiệt nhanh từng tấm wafer riêng lẻ và kiểm soát thời gian tiếp xúc nhiệt.
Ủ nhiệt chuyên dụngXử lý nhiệt bằng xung mili giây, laser hoặc các phương pháp xử lý nhiệt chuyên dụng khác.
Thiết bị hiện tại

02Thiết bị xử lý nhiệt bán dẫn đã qua sử dụng hiện có sẵn

Hãy xem qua danh sách các hệ thống xử lý nhiệt đã qua sử dụng hiện có của chúng tôi dành cho sản xuất tấm bán dẫn. Ống hoặc mô-đun xử lý, hệ thống gia nhiệt hoặc đèn, cấu hình khí, dụng cụ thạch anh, bộ điều khiển nhiệt độ và hệ thống xử lý tấm bán dẫn cần được xác nhận cho từng máy cụ thể.

Tìm nguồn cung ứng thiết bị

Bạn cần một loại lò nung hoặc hệ thống RTP cụ thể?

Nếu nền tảng cần thiết không có trong danh sách hiện tại, vui lòng gửi thông tin về nhà sản xuất, kiểu máy, mục đích sử dụng, kích thước wafer hoặc nền tảng sản xuất hiện có. Chúng tôi có thể xem xét thiết bị sắp về và các tùy chọn tìm nguồn cung ứng dựa trên yêu cầu.

Gửi yêu cầu về mô hình hoặc nền tảng
Hướng thiết bị

03Lựa chọn giữa lò nung theo mẻ, hệ thống xử lý nhiệt nhanh (RTP) và hệ thống xử lý nhiệt chuyên dụng.

Hãy bắt đầu bằng cách xem xét thể tích tấm wafer, độ dài chu kỳ nhiệt và mức độ kiểm soát nhiệt độ-thời gian cần thiết cho quy trình. Ba yếu tố này giúp thu hẹp phạm vi tìm kiếm trước khi xem xét một máy móc cụ thể.

Chọn hướng xử lý trước, sau đó kiểm tra cấu hình thực tế.

Chỉ riêng tên thiết bị thôi là chưa đủ. Tính phù hợp cuối cùng còn phụ thuộc vào ống hoặc mô-đun xử lý, hệ thống gia nhiệt, cấu hình khí, bộ điều khiển nhiệt độ và khả năng xử lý wafer đi kèm với máy.

BF

Hệ thống lò nung theo mẻ

Đây là điểm khởi đầu thiết thực cho các quy trình đa wafer thường chạy trong chu kỳ nhiệt dài hơn.

Điểm khởi đầu tốt nhất cho

  • Oxy hóa khô hoặc ướt
  • Khuếch tán hoặc sự xâm nhập chất pha tạp
  • Ủ nhiệt trong thời gian dài
  • Các quy trình nhiệt theo mẻ đã được thiết lập khác
Những nội dung cần xem xét lại

Bố trí theo chiều dọc hoặc chiều ngang, cấu hình ống và khí, công suất theo mẻ, khay đựng wafer, tự động hóa quá trình nạp liệu và việc sử dụng quy trình trước đó.

RTP

Hệ thống RTP / RTA

Đây là điểm khởi đầu thiết thực cho các quy trình sử dụng một tấm wafer duy nhất, đòi hỏi gia nhiệt, làm mát nhanh và kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ hơn.

Điểm khởi đầu tốt nhất cho

  • Kích hoạt cấy ghép
  • Quá trình oxy hóa nhiệt nhanh hoặc quá trình nitrid hóa
  • sự hình thành silicide
  • Ngâm, tăng nhiệt đột ngột hoặc các chu kỳ nhiệt ngắn khác
Những nội dung cần xem xét lại

Tốc độ tăng nhiệt, nhiệt độ đỉnh, thời gian giữ nhiệt, hệ thống đèn hoặc bộ gia nhiệt, đo nhiệt độ và xử lý từng tấm wafer riêng lẻ.

ST

Hệ thống nhiệt chuyên dụng

Đây là điểm khởi đầu thiết thực cho các vật liệu bán dẫn chuyên dụng, cửa sổ quy trình cực ngắn hoặc các phương pháp cung cấp năng lượng được kiểm soát.

Điểm khởi đầu tốt nhất cho

  • Ủ trong mili giây
  • Xử lý nhiệt bằng laser
  • Xử lý nhiệt độ cao đặc biệt
  • Các quy trình đặc biệt trong môi trường hoặc chân không
Những nội dung cần xem xét lại

Vật liệu bán dẫn, thiết kế cung cấp năng lượng, môi trường, phạm vi quy trình, phần mềm và cấu hình nền tảng thực tế.

Tôi
Các danh mục này cung cấp hướng đi ban đầu chứ không phải là một nhiệm vụ cố định. Một số hệ thống lò nung theo mẻ cũng có thể hỗ trợ LPCVD hoặc quy trình khác tùy thuộc vào ống, hệ thống khí và cấu hình ban đầu được lắp đặt.
Đánh giá độ phù hợp của nền tảng

04Năm điều cần kiểm tra trước khi mua hệ thống xử lý nhiệt đã qua sử dụng

Đạt được nhiệt độ mục tiêu chỉ là một phần của quyết định. Lò nung hoặc hệ thống RTP đã qua sử dụng cũng cần được kiểm tra về lịch sử quy trình, kiểm soát nhiệt độ, xử lý wafer, yêu cầu về cơ sở vật chất và điều kiện vận hành lâu dài.

Lịch sử quy trình Kiểm soát nhiệt độ Xử lý wafer Không gian & Tiện nghi Vận hành dài hạn
1

Lịch sử sử dụng quy trình và lò nung

Xem xét lại quy trình oxy hóa, khuếch tán, ủ hoặc quy trình đặc biệt dự định thực hiện, phương pháp vận hành khô hoặc ướt (nếu có), các vật liệu đã được xử lý trước đó, và tình trạng hiện có của ống, lò phản ứng và dụng cụ thạch anh hoặc các hồ sơ lịch sử quy trình.

Tránh chọn máy móc chỉ vì tên gọi có vẻ phù hợp nhưng lại có quy trình sử dụng trước đó hoặc nguy cơ ô nhiễm không phù hợp với sản phẩm mục tiêu.
2

Hồ sơ nhiệt và kiểm soát nhiệt độ

Xem xét lại nhiệt độ mục tiêu, đặc tính tăng và giảm nhiệt, khả năng duy trì hoặc tăng đột biến nhiệt độ, thông tin về độ đồng đều nhiệt độ, vùng gia nhiệt, đèn và cấu hình cảm biến.

Tránh sử dụng hệ thống đạt đến nhiệt độ mục tiêu nhưng không đáp ứng được các điều kiện về ngân sách nhiệt, tốc độ tăng nhiệt hoặc kiểm soát nhiệt độ cần thiết trong quá trình kiểm định.
3

Tấm bán dẫn, thuyền và tự động hóa

Xem xét kích thước và vật liệu wafer, công suất mẻ, khay wafer và dụng cụ thạch anh, định dạng cassette hoặc FOUP, bộ nạp, robot và cấu hình truyền tải.

Tránh mua nền tảng có khả năng xử lý nhưng kích thước wafer, khay hoặc cấu hình xử lý không thể kết nối với dây chuyền sản xuất hiện có.
4

Yêu cầu về không khí và cơ sở vật chất

Xem xét lại quy trình, bao gồm môi trường khí, cung cấp khí, chân không, khí thải và xử lý, làm mát, tải điện, khóa an toàn và các hệ thống hỗ trợ đi kèm.

Tránh nhận máy trước khi xác nhận rằng hệ thống khí đốt, chân không, khí thải, làm mát và cơ sở hạ tầng tiện ích hiện có có thể hỗ trợ cấu hình thực tế của máy.
5

Điều kiện vận hành dài hạn

Kiểm tra tình trạng của bộ phận gia nhiệt hoặc đèn, thông tin về tình trạng bóng đèn, gioăng, cảm biến nhiệt độ, bộ điều khiển, phiên bản phần mềm, hồ sơ bảo trì và các yêu cầu về phụ tùng đã biết.

Tránh bổ sung những công cụ hoạt động tốt về mặt kỹ thuật nhưng lại gây ra thời gian ngừng hoạt động quá mức, gánh nặng bảo trì hoặc chi phí thay thế cao trong quá trình sản xuất.

Cần xem xét kỹ lịch sử quy trình, kiểm soát nhiệt độ, xử lý wafer và điều kiện cơ sở vật chất trước khi quyết định lựa chọn một hệ thống cụ thể.

Vui lòng cung cấp thông tin về model, nền tảng hiện tại, mục đích quy trình, kích thước wafer, nhiệt độ mục tiêu hoặc cấu hình nhiệt và thông tin thiết bị hiện có.

Yêu cầu đánh giá về độ vừa vặn của sản phẩm giữ nhiệt
Giá trị thiết bị đã qua sử dụng

05Vì sao người mua cân nhắc thiết bị xử lý nhiệt đã qua sử dụng?

Nền tảng nhiệt đã qua sử dụng có giá trị nhất khi cấu hình thực tế của nó phù hợp với công thức đã được thiết lập, cơ sở lắp đặt và môi trường sản xuất hiện có.

Kịch bản cốt lõi

Tiếp tục quy trình nhiệt đã được thiết lập

Công thức nhiệt được xác thực có thể phụ thuộc vào ống lò nung cụ thể, vùng gia nhiệt, đường dẫn khí, hoạt động của bộ điều khiển và cấu hình xử lý tấm bán dẫn được sử dụng để vận hành nó.

Khi một hệ thống đã lắp đặt trở nên cũ kỹ hoặc nền tảng ban đầu không còn phù hợp để thay thế bằng thiết bị mới, một hệ thống đã qua sử dụng có độ tương đồng đủ tốt có thể giảm thiểu phạm vi chuyển giao quy trình và tái chứng nhận, đồng thời giảm chi phí đầu tư ban đầu.

Một nền tảng tương tự không tự động sao chép quy trình hiện có. Khả năng tương thích cuối cùng vẫn phụ thuộc vào cấu hình máy thực tế.

Thay thế lò sưởi cũ hoặc đã ngừng sản xuất.

Hãy xem xét lại cùng một dòng sản phẩm hoặc một hệ thống phù hợp khác khi việc trang bị thiết bị mới không còn phù hợp với quy trình hiện tại.

Thêm dung lượng xử lý theo lô hoặc từng wafer riêng lẻ

Mở rộng sản xuất theo hướng nền tảng đã được thiết lập sẵn trên dây chuyền, đồng thời vẫn duy trì phương pháp xử lý nhiệt cơ bản.

Xem xét các yêu cầu cấu hình liên quan

Các yêu cầu về ống, thuyền, bộ nạp, bộ điều khiển hoặc hệ thống phụ trợ có thể được xem xét cùng với yêu cầu thiết bị chính khi có đủ thông tin về kiểu máy và cấu hình.

Giao hàng và hỗ trợ

06Cung cấp và hỗ trợ cho các hệ thống xử lý nhiệt

Hệ thống xử lý nhiệt bao gồm các thiết bị thạch anh dễ vỡ, cụm gia nhiệt, phần cứng điều khiển nhiệt độ và hệ thống xử lý wafer tự động. Cấu hình thực tế và phạm vi giao hàng cần được ghi chép rõ ràng trước khi vận chuyển.

01

Trước khi giao hàng

  • Xác nhận dụng cụ chính, ống dẫn quy trình hoặc mô-đun, và các phụ kiện đi kèm.
  • Ghi lại cấu hình của máy sưởi hoặc đèn, thuyền, máy xúc và thiết bị xử lý.
  • Kiểm tra máy bơm, hệ thống làm mát và các thiết bị phụ trợ khác nằm trong phạm vi công việc.
  • Thu thập các tài liệu hướng dẫn sử dụng, phần mềm và tài liệu vận hành hiện có.
  • Xác định trách nhiệm liên quan đến việc tháo dỡ, đóng gói, vận chuyển và lập danh sách giao hàng.
02

Vận chuyển và đến nơi

  • Bảo vệ các ống nghiệm, khay đựng wafer và các dụng cụ thạch anh dễ vỡ trong quá trình vận chuyển.
  • Đảm bảo an toàn cho các thiết bị xếp dỡ, robot và các cụm thiết bị di chuyển khác.
  • Bảo vệ các thiết bị sưởi, đèn, cảm biến và các kết nối chân không.
  • Xác nhận các điều kiện nâng hạ, di chuyển và vận chuyển trước khi giao hàng.
  • Kiểm tra bao bì, phụ kiện và các hư hỏng có thể nhìn thấy trong quá trình vận chuyển trước khi lắp đặt hoặc bật nguồn.
03

Hỗ trợ cho các hệ thống hiện có hoặc đã được triển khai

  • Bản đánh giá cung cấp nhật ký cảnh báo và lịch sử lỗi.
  • Giúp khoanh vùng các vấn đề có thể xảy ra liên quan đến điều khiển nhiệt độ, máy sưởi, đèn, máy hút bụi hoặc thao tác vận hành.
  • Xem lại thông tin về bộ điều khiển, phần mềm và cảm biến hiện có.
  • Xác định thông tin về ống, thuyền, dụng cụ thạch anh hoặc mô-đun cần thiết để ghép nối
  • Phối hợp các bước khắc phục sự cố, khởi động hoặc khôi phục thực tế tiếp theo.

Việc lắp đặt tại chỗ hoàn chỉnh, phát triển quy trình và bảo trì dài hạn không được bao gồm theo mặc định. Bất kỳ công việc nào như vậy phải được xác nhận trong báo giá cuối cùng và phạm vi dịch vụ.

Yêu cầu hỗ trợ hệ thống xử lý nhiệt
Câu hỏi thường gặp

07Câu hỏi thường gặp về thiết bị xử lý nhiệt

Những câu hỏi này đề cập đến các vấn đề chính mà người mua thường gặp phải khi xem xét các lò nung bán dẫn đã qua sử dụng và hệ thống xử lý nhiệt nhanh.

Sự khác biệt giữa lò nung theo mẻ và hệ thống RTP là gì?

Lò nung theo mẻ xử lý nhiều tấm wafer cùng lúc và thường được sử dụng cho quá trình oxy hóa, khuếch tán và các chu kỳ nhiệt dài hơn. Hệ thống RTP thường xử lý từng tấm wafer một với tốc độ gia nhiệt và làm nguội nhanh hơn trong chu kỳ ngắn hơn. Lựa chọn đúng đắn phụ thuộc vào ngân sách nhiệt yêu cầu, năng suất, khả năng xử lý wafer và cấu hình thiết bị thực tế.

Liệu cùng một hệ thống lò nung có thể được cấu hình cho quá trình oxy hóa, khuếch tán, ủ hoặc LPCVD không?

Đúng vậy. Một số dòng máy có thể hỗ trợ các quy trình khác nhau tùy thuộc vào ống hoặc lò phản ứng được lắp đặt, hệ thống cung cấp khí, cấu hình nhiệt độ và thiết lập ban đầu của nhà máy. Cần xem xét cấu hình thực tế của máy và lịch sử quy trình chính của nó thay vì chỉ dựa vào tên model.

Cần những thông tin gì để lựa chọn hệ thống xử lý nhiệt phù hợp với quy trình hiện có?

Thông tin ban đầu hữu ích bao gồm nhà sản xuất và kiểu máy, nền tảng hiện tại, mục đích quy trình, kích thước và vật liệu wafer, yêu cầu xử lý theo lô hay từng wafer riêng lẻ, nhiệt độ mục tiêu và thời gian xử lý, tốc độ tăng nhiệt hoặc yêu cầu về ngân sách nhiệt, môi trường xử lý và mục tiêu thay thế hoặc công suất.

Cần kiểm tra những gì trước khi thay thế lò nung hoặc bệ đỡ RTP đã qua sử dụng?

Việc đánh giá cần so sánh lịch sử của ống, lò phản ứng hoặc mô-đun quy trình, hồ sơ nhiệt độ, hành vi tăng giảm nhiệt độ, xử lý tấm bán dẫn, yêu cầu về khí và khí thải, môi trường điều khiển, hệ thống hỗ trợ và tình trạng của các thành phần gia nhiệt và thạch anh quan trọng.

Bạn có thể tìm kiếm một hệ thống xử lý nhiệt không có trong danh sách hiện tại không?

Vâng. Hãy gửi thông tin về nhà sản xuất, kiểu máy, kích thước wafer, mục đích xử lý hoặc nền tảng hiện tại. Chúng tôi có thể xem xét thiết bị sắp về, thông tin thị trường hiện có và các hướng phát triển hệ thống tiềm năng để đánh giá thêm. Khả năng cung cấp và phạm vi cuối cùng phụ thuộc vào thiết bị cụ thể được xác định.

08Hãy gửi yêu cầu về thiết bị xử lý nhiệt của bạn.

Hãy bắt đầu bằng việc xác định kiểu máy, bảng tên, ảnh máy hoặc yêu cầu quy trình mục tiêu. Chúng tôi có thể xem xét hướng thiết kế, tình trạng sẵn có hiện tại và các câu hỏi cấu hình chính trước khi mua hàng.

Nhà sản xuất và mẫu mã Mục đích của quy trình Kích thước và chất liệu của tấm wafer Hàng loạt hay từng tấm wafer riêng lẻ Nhiệt độ mục tiêu hoặc hồ sơ nhiệt Ảnh hoặc bảng tên
Thảo luận về yêu cầu xử lý nhiệt.