Lò khuếch tán thẳng đứng TEL ALPHA 8S xử lý các tấm bán dẫn theo lô cho các hoạt động ở nhiệt độ cao như oxy hóa nhiệt, ủ và khuếch tán. Kiến trúc lò thẳng đứng cho phép nhiều tấm bán dẫn trải qua cùng một chu trình nhiệt trong môi trường xử lý được kiểm soát.
Độ đồng đều nhiệt độ trong vùng lò nung, kiểm soát lưu lượng khí và khoảng cách giữa các tấm wafer đều ảnh hưởng đến tính nhất quán của quy trình. Nền tảng ALPHA 8S được cung cấp với nhiều cấu hình khác nhau, trong đó ống lò nung, bộ gia nhiệt, hệ thống cung cấp khí và phần cứng điều khiển được lắp đặt sẽ quyết định các công thức quy trình khả dụng.
Trước khi chọn mua máy TEL ALPHA 8S đã qua sử dụng, hãy xác nhận cấu hình quy trình cụ thể, kích thước wafer được hỗ trợ, tình trạng ống lò và thiết lập hệ thống khí. Những chi tiết này sẽ quyết định xem máy có phù hợp với quy trình oxy hóa, khuếch tán hoặc ủ cần thiết hay không.
Thông số kỹ thuật chính của TEL ALPHA 8S
| Nhà sản xuất | Công ty TNHH Điện tử Tokyo |
|---|---|
| Thương hiệu | ĐIỆN THOẠI |
| Người mẫu | ALPHA 8S |
| Loại thiết bị | Lò khuếch tán và xử lý nhiệt theo phương thẳng đứng |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Theo danh sách hiện có, các tấm wafer có kích thước 150 mm và 200 mm. |
| Xử lý tấm bán dẫn | Xử lý nhiệt theo lô |
| Ứng dụng quy trình đã xuất bản | Quá trình oxy hóa ướt, oxy hóa khô, ủ nhiệt và LPCVD phụ thuộc vào cấu hình |
| Cấu hình quy trình thực tế | Tùy thuộc vào việc lắp đặt ống lò, bảng điều khiển khí, dụng cụ thạch anh và xác nhận công thức. |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
