Nanometrics NanoSpec AFT 2100 là một thiết bị đáng tin cậy. hệ thống đo độ dày màng không tiếp xúc Dùng để kiểm tra tấm bán dẫn. quang phổ phản xạThiết bị này đo được các lớp màng mỏng trong suốt như oxit, nitrit và chất cản quang, cho kết quả nhanh chóng cho các công việc thường quy. giám sát quy trình.
Được trang bị các thấu kính hiển vi có thể điều chỉnh và kích thước điểm đo linh hoạt, hệ thống này cung cấp dữ liệu độ dày chính xác mà không làm hỏng tấm wafer. Hệ thống xác minh tính đồng nhất của màng trên các chất nền và tạo ra các báo cáo đo lường có thể lặp lại, lý tưởng cho việc kiểm soát chất lượng hàng ngày trong phòng sạch.
Hệ thống này nhỏ gọn và bền bỉ, yêu cầu đào tạo tối thiểu cho người vận hành và giúp giảm chi phí bảo trì. Nó tích hợp liền mạch vào quy trình làm việc phòng sạch hiện có để duy trì kiểm soát màng mỏng chặt chẽ và bảo vệ năng suất sản phẩm của bạn.
Thông số kỹ thuật chính của Nanometrics AFT 2100
| Nhà sản xuất | Nanometrics |
|---|---|
| Dòng sản phẩm | NanoSpec |
| Người mẫu | AFT 2100 |
| Loại thiết bị | Hệ thống đo độ dày màng mỏng quang học |
| Kích thước wafer được liệt kê | 150 mm / 6 inch |
| Phương pháp đo lường | Phản xạ quang phổ không tiếp xúc và giao thoa quang học |
| Phạm vi bước sóng đã công bố | 360–760 nm |
| Phạm vi độ dày đã công bố | Dưới 100 Å đến khoảng 50.000 Å |
| Khả năng tái tạo được công bố | Sai số xấp xỉ ±2% đến ±5%, tùy thuộc vào loại phim và điều kiện đo. |
| Thấu kính vật kính | 5×, 10× và 50× |
| Kích thước điểm đo được công bố | Xấp xỉ 50 µm, 25 µm và 5 µm, tùy thuộc vào thấu kính mục tiêu. |
| Yêu cầu về phim | Màng phim phải trong suốt trong phạm vi đo và có các đặc tính quang học đã biết. |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
