Nanometrics NanoSpec AFT 2100 是一款可靠的 非接觸式薄膜厚度計量系統 用於半導體晶圓檢測。 光譜反射法它可測量氧化物、氮化物和光阻等透明薄層，並能快速讀取數據，適用於常規測量。 流程監控.
該系統配備可調節顯微物鏡和靈活的測量光斑尺寸，可在不損傷晶圓的情況下提供精確的厚度數據。此系統可驗證薄膜在不同基板上的均勻性，並產生可重複的測量報告，是無塵室日常品質控制的理想選擇。
該系統結構緊湊、堅固耐用，操作人員只需接受極少的培訓，維護成本也極低。它可無縫整合到現有的無塵室工作流程中，從而實現嚴格的薄膜控制，保障產品良率。
Nanometrics AFT 2100 主規格
| 製造商 | 奈米計量學 |
|---|---|
| 產品系列 | 奈米光譜 |
| 模型 | AFT 2100 |
| 設備類型 | 光學薄膜厚度測量系統 |
| 晶圓尺寸 | 150 毫米 / 6 英寸 |
| 測量方法 | 非接觸式光譜反射率和光學干涉 |
| 已公佈的波長範圍 | 360–760 奈米 |
| 已公佈的厚度範圍 | 小於 100 Å 至約 50,000 Å |
| 已發表的可重複性 | 誤差約為±2%至±5%，取決於膠片和測量條件。 |
| 物鏡 | 5倍、10倍和50倍 |
| 已公佈的測量點尺寸 | 依物鏡的不同，尺寸分別約為 50 µm、25 µm 和 5 µm。 |
| 影片要求 | 薄膜在測量範圍內應透明，並具有已知的光學特性。 |
| 狀態 | 二手半導體設備 |
| 可用性 | 視當前庫存、檢驗和配置確認情況而定 |
