Nanometrics NanoSpec AFT 2100 ialah peranti yang boleh dipercayai sistem metrologi ketebalan filem tanpa sentuh untuk pemeriksaan wafer semikonduktor. Menggunakan spektro-reflektometri, ia mengukur lapisan nipis lutsinar seperti oksida, nitrida dan fotoresis, memberikan bacaan pantas untuk rutin pemantauan proses.
Dilengkapi dengan objektif mikroskop boleh laras dan saiz titik pengukuran yang fleksibel, ia memberikan data ketebalan yang tepat tanpa kerosakan wafer. Sistem ini mengesahkan keseragaman filem merentasi substrat dan menjana laporan pengukuran yang boleh diulang, sesuai untuk kawalan kualiti harian bilik bersih.
Padat dan teguh, sistem ini memerlukan latihan minimum untuk pengendali dan memastikan kos penyelenggaraan rendah. Ia disepadukan dengan lancar ke dalam aliran kerja bilik bersih sedia ada untuk mengekalkan kawalan filem nipis yang ketat dan melindungi hasil produk anda.
Spesifikasi Utama Nanometrik AFT 2100
| Pengilang | Nanometrik |
|---|---|
| Keluarga Produk | NanoSpec |
| Model | Selepas 2100 |
| Jenis Peralatan | Sistem Pengukuran Ketebalan Filem Nipis Optik |
| Saiz Wafer Tersenarai | 150 mm / 6 inci |
| Kaedah Pengukuran | Pantulan spektrum bukan sentuhan dan gangguan optik |
| Julat Panjang Gelombang yang Diterbitkan | 360–760 nm |
| Julat Ketebalan yang Diterbitkan | Kurang daripada 100 Å hingga lebih kurang 50,000 Å |
| Kebolehulangan yang Diterbitkan | Kira-kira ±2% hingga ±5%, bergantung pada keadaan filem dan pengukuran |
| Kanta Objektif | 5×, 10× dan 50× |
| Saiz Titik Pengukuran yang Diterbitkan | Kira-kira 50 µm, 25 µm dan 5 µm, bergantung pada kanta objektif |
| Keperluan Filem | Filem hendaklah lutsinar dalam julat pengukuran dan mempunyai sifat optik yang diketahui |
| Keadaan | Peralatan semikonduktor terpakai |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa, pemeriksaan dan pengesahan konfigurasi |
