Hệ thống làm sạch wafer SEMES BLUEICE PRIME 300mm mang lại độ đồng nhất nhiệt độ vượt trội và khả năng kiểm soát hóa chất chính xác, đặc biệt hiệu quả trong các hoạt động khắc và tẩy bằng axit photphoric ở nhiệt độ cao. Thiết kế mâm cặp độc đáo giúp giảm thiểu sự sai lệch nhiệt độ, loại bỏ hiệu quả các chất gây ô nhiễm trên bề mặt đồng thời bảo vệ các mẫu wafer mỏng manh khỏi bị hư hại.
Hệ thống hỗ trợ điều chỉnh công thức linh hoạt cho nhiều quy trình xử lý ướt khác nhau và duy trì tỷ lệ lỗi cực thấp, ngay cả trong quá trình sản xuất khối lượng lớn, kéo dài. Cho dù bạn đang nâng cấp thiết bị xử lý ướt hiện có hay mở rộng năng lực sản xuất, hệ thống này là lựa chọn đáng tin cậy để nâng cao năng suất wafer.
Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để thảo luận về nhu cầu vệ sinh ướt của bạn và nhận báo giá cạnh tranh.
Thông số kỹ thuật SEMES BLUEICE PRIME
| Tham số | Sự miêu tả |
|---|---|
| Loại thiết bị | Hệ thống làm sạch wafer đơn |
| Nhà sản xuất | SEMES |
| Người mẫu | BLUEICE PRIME |
| Kích thước wafer | 300mm |
| Loại quy trình | Làm sạch tấm bán dẫn ướt |
| Ứng dụng chính | Sản xuất chất bán dẫn logic và bộ nhớ |
| Công nghệ làm sạch | Làm sạch bằng axit photphoric ở nhiệt độ cao |
| Mục tiêu | Các hạt, cặn bẩn, ô nhiễm bề mặt |