SEMES BLUEICE PRIME 300mm 晶圓清洗系統具有卓越的溫度均勻性和精確的化學控制能力，尤其擅長高溫磷酸蝕刻和剝離操作。其獨特的卡盤設計最大限度地減少了熱偏差，有效去除表面污染物，同時保護晶圓上的精細圖案免受損傷。
該系統支援針對各種濕式製程的靈活配方調整，即使在長期大批量生產中也能保持極低的缺陷率。無論您是升級現有濕式製程設備還是擴大產能，該系統都是提高晶圓良率的可靠之選。
立即聯絡我們，討論您的濕洗需求，並取得具有競爭力的報價。
SEMES BLUEICE PRIME 技術規格
| 範圍 | 描述 |
|---|---|
| 設備類型 | 單晶圓清洗系統 |
| 製造商 | 掃描電子顯微鏡 |
| 模型 | 藍冰之巔 |
| 晶圓尺寸 | 300毫米 |
| 流程類型 | 濕式晶圓清洗 |
| 主要應用 | 邏輯和記憶體半導體製造 |
| 清潔技術 | 高溫磷酸清洗 |
| 目標 | 顆粒物、殘留物、表面污染 |