SEMES BLUEICE PRIME 300mmウェーハ洗浄システムは、卓越した温度均一性と精密な化学薬品制御を実現し、特に高温リン酸エッチングおよび剥離工程において優れた性能を発揮します。独自のチャック設計により熱偏差を最小限に抑え、表面の汚染物質を効果的に除去すると同時に、繊細なウェーハパターンを損傷から保護します。
このシステムは、幅広い湿式プロセスに対応した柔軟なレシピ調整をサポートし、長期間にわたる大量生産においても極めて低い不良率を維持します。既存の湿式処理装置のアップグレードや生産能力の拡張を検討されている場合でも、このシステムはウェーハ歩留まり向上に最適な選択肢です。
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SEMES BLUEICE PRIME 技術仕様
| パラメータ | 説明 |
|---|---|
| 機器の種類 | シングルウェハ洗浄システム |
| メーカー | セミス |
| モデル | ブルーアイスプライム |
| ウェハーサイズ | 300mm |
| プロセスタイプ | 湿式ウェーハ洗浄 |
| 主な用途 | ロジックおよびメモリ半導体の製造 |
| 洗浄技術 | 高温リン酸洗浄 |
| ターゲット | 粒子、残留物、表面汚染 |