Nordson MARCH AP-600 可在鍵結、塗層和沈積工作流程之前，對半導體基板、封裝組件和 MEMS 組件進行批量等離子體處理。
這種乾式表面處理無需液體化學試劑即可去除有機污染物和微小殘留物，提高表面能並增強界面黏合力。
腔室內的等離子覆蓋均勻，足以支援大量生產。操作人員可根據各種材料（包括脆性和剛性工件）調整功率、氣體流量和曝光時間。內建的製程監控系統會在每個循環中記錄運作參數，從而確保各批次清洗品質一致，並減少因表面處理不足造成的廢料。
Nordson MARCH AP-600 機器信息
| 製造商 | 諾信三月 |
|---|---|
| 模型 | AP-600 |
| 設備類型 | 批量真空等離子處理系統 |
| 主要應用 | 等離子清洗、表面活化和附著力改善 |
| 典型產業 | 半導體製造、微電子封裝和電子組裝 |
| 處理格式 | 批量處理相容部件、托盤、料倉、船塢和其他載體 |
| 電漿模式 | 根據安裝的支架和電極配置情況，可採用直接等離子體或下游等離子體。 |
| 射頻系統 | 根據製造商的平台說明，此13.56 MHz射頻產生器具有自動阻抗匹配功能。 |
| 控制系統 | 基於PLC的觸控螢幕控制平台 |
| 狀態 | 二手等離子處理設備 |
| 實際配置 | 已根據現有特定係統進行確認 |
| 交貨範圍 | 根據報價和已確認的設備清單 |
| 船運 | 出口包裝和全球配送 |
