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パナソニック PSX307 プラズマクリーニングシステム

パナソニックPSX307は、平行平板プラズマを用いて基板やウェハを洗浄します。ガスはAr、O₂、または混合ガスに対応。リフトユニットにより、薄く反った基板や裏面部品付きプリント基板も処理可能です。プラズマモニターが異常放電を検知します。処理能力は最大360枚/時です。

Panasonic PSX307 Plasma Cleaning System 機器画像
構成レビュー モデルと搭載オプション
新品/中古品 プロジェクトの利用状況によります
グローバルデリバリー 目的地別評価
技術RFQ パッケージとプロセスのマッチング

パナソニックPSX307プラズマ洗浄システムは、低損傷で プラズマ表面処理 ウェーハやパッケージ基板上の残留有機物や微量汚染物質を除去します。プラズマ処理による表面活性化は、ダイボンディングやアンダーフィル工程における接着強度を効果的に向上させ、完成品パッケージの剥離リスクを低減します。

密閉された反応チャンバーにより、バッチ全体にわたってプラズマ分布が均一に保たれます。直感的なレシピ保存機能と自動安全インターロックにより、日常業務が簡素化され、一貫した表面品質と信頼性の高い長期性能が求められる半導体パッケージングラインに最適です。

Panasonic PSX307 plasma cleaning system

パナソニック PSX307 本体情報

メーカーパナソニック
モデルPSX307
機器の種類プラズマ洗浄および表面処理システム
応用互換性のある接着、コーティング、または電子機器の組み立て工程の前に表面処理を行う
状態中古機器
プロセス適合性製品の材質、汚染度、要求される結果、および実際の機械構成によって決定されます。
実際の構成使用可能な特定の機械に応じて確認済み
納品範囲見積もりと確認済みの機器リストに基づく
サポート初期故障診断、交換部品の選定、修理に関する話し合い
配送輸出梱包および世界各国への配送