の ACCRETECH / TSK UF3000EX は、高精度な電気特性評価と多品種少量生産向けに設計された、業界標準の全自動ウェハープローバーです。 TSK UF3000シリーズ UF3000EXは、そのアーキテクチャにより、200mmおよび300mmのウェーハフォーマットの両方において、優れたウェーハ選別能力、高精度なサブミクロン位置決め、および信頼性の高い光学アライメントを実現します。
で GK-SEMI生産準備完了の TSKプローバーを使用 厳格な多点機能テスト、真空シール診断、および光学校正に合格したステーションは、新しい機器を購入するよりも費用対効果の高い代替手段を提供します。
技術仕様：TSK UF3000EX
| パラメータ | 設定の詳細 |
|---|---|
| メーカー | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. (ACCRETECH / TSK) |
| モデルシリーズ | UF3000 / UF3000EX |
| ウェーハ直径 | 200 mm (8インチ) および 300 mm (12インチ) デュアルハンドリング |
| 位置合わせ精度 | 光学ターゲットスコープ（OTS）、±2.0 µm以上 |
| チャック温度 | 常温／高温チャック／三温度（-55℃～+150℃／+200℃） |
| プローブカードサイズ | 最大440mm（17.3インチ）の標準インターフェース |
| ステージドライブ | 接触力制御が可能な高剛性4軸Zステージ |
| 自動化ネットワーク | SECS/GEM、Light-VegaNet、VegaNet、イーサネット |
Accretechプローバープラットフォームの主な利点
高速インデックス処理速度： 超高速XY動作と自動ウェハ搬送により、テストスループットを最大化します。
低接触力保護： マイクロステップZ軸駆動により、繊細なウェハ表面、パッド、および低誘電率材料への損傷を防ぎます。
汎用ATE互換性： 主要な試験装置（アドバンテスト、テラダインなど）との容易なドッキング。
GK-SEMI認証検査および梱包
毎 accretech uf3000 GK-SEMI社から納品される製品は、全工程テスト、モーター駆動診断、熱校正、真空漏れ検証といった厳格な検査を受けています。すべての製品は、クリーンルームグレードのパッケージに乾燥剤とともに真空密封され、安全な国際輸送のために頑丈な木箱に梱包されています。
よくある質問
Q：このTSK UF3000EXは、8インチと12インチの両方のウェハーに対応できますか？
A：はい。適切な変換キットとチャック構成を使用することで、システムは2種類のウェハ径に対応できます。
Q：機械の電源を入れた状態でのライブビデオ検査は提供していますか？
A：はい、出荷前にウェハー交換、光学調整、システム自己診断テストの様子を実演するビデオ資料をすべてご提供いたします。
