ASM MS100 Plus는 향상된 속도, 핸들링 안정성 및 처리 용량을 갖춘 MS100 플랫폼 기반의 업그레이드된 웨이퍼 매핑 다이 분류 및 배치 장비입니다. 프런트엔드 테스트 매핑 파일에서 합격/불합격 및 등급 데이터를 읽어온 후, 절단된 웨이퍼 또는 필름 프레임에서 다이를 선별하여 범주별로 지정된 출력 위치에 배치합니다.
이 플랫폼은 2~6인치 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 표준 구성은 2~4인치입니다. 출력은 설치된 출력 모듈에 따라 캐리어, 프레임, 트레이 또는 튜브로 라우팅될 수 있습니다. 공개된 처리량은 분당 최대 100회 픽업 사이클(약 6,000 UPH)에 달하며, 다이 회전은 ±1° 이내로 유지됩니다. 이중 독립 커넥터 시스템은 단일 또는 이중 바늘 구성을 지원하며, 통합 비전 시스템은 각 배치 전에 이중 정렬 검증을 수행합니다.
MS100 Plus는 구성 가능한 플랫폼이므로 동일한 모델명을 가진 두 대의 장비라도 픽업 툴링, 웨이퍼 테이블, 출력 캐리어 및 소프트웨어 라이선스가 다를 수 있습니다. 아래 섹션에서는 먼저 플랫폼의 기술적 기능을 설명하고, 이어서 중고 장비의 구성 및 구매 시 고려 사항을 다룹니다.
주요 사양
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 장비 유형 | 웨이퍼 맵핑 다이 선별기/칩 선별기 |
| 픽업 사이클 | 최대 100 사이클/분 (6,000 UPH) |
| 다이 회전 정확도 | ±1° |
| 배치 정확도 | ±1백만(평균) |
| 웨이퍼/필름 프레임 크기 | 2~6인치 (표준 2~4인치, 최대 6인치) |
| 확장된 웨이퍼 지원 | 최대 8인치 공융 웨이퍼(높이 조절 브래킷 포함) |
| 결합력 범위 | 40g – 250g |
| 출력 매체 | 운반체, 프레임, 트레이, 튜브 |
| 커넥터 구성 | 두 개의 독립적인 커넥터; 단일 바늘 또는 이중 바늘 |
| 프로그램 저장소 | 최대 200개의 프로그램 파일 |
| 전력 소비량 | 1300W (110VAC) |
| 입력 전압 | 100~240VAC, 50/60Hz |
| 압축 공기 필요량 | 87 PSI (6 bar) |
| 압축 공기 소모량 | 155 LPM |
| 프레임 구조 | 고강도 강철 프레임과 고무 진동 방지 마운트 |
구성 및 조달 참고 사항
MS100 Plus는 구성 가능한 플랫폼입니다. 동일한 모델명을 가진 두 대의 장비라도 픽업 툴링, 웨이퍼 테이블 크기, 출력 캐리어 모듈, 소프트웨어 라이선스 수준이 다를 수 있습니다. 중고 장비를 평가할 때는 이러한 항목들을 고려해야만 해당 장비가 실제로 제품을 실행할 수 있는지 여부를 판단할 수 있습니다.
웨이퍼/프레임 규격. 설치된 웨이퍼 테이블과 프레임 어댑터가 사용하시는 웨이퍼 크기 및 필름 프레임 규격과 일치하는지 확인하십시오. 표준 구성은 2~4인치 웨이퍼를 지원하며, 6인치 및 8인치 웨이퍼 지원에는 별도의 하드웨어가 필요합니다.
픽업 툴링을 확인하세요. 어떤 노즐과 니들 세트가 포함되어 있는지 확인하십시오. 툴링은 다이 크기에 따라 달라집니다. 0.3mm 다이에 최적화된 설정은 툴링을 변경하지 않으면 2mm 다이에는 사용할 수 없습니다.
출력 모듈. 캐리어, 프레임, 트레이 및 튜브는 각각 다른 출력 모듈을 필요로 합니다. 제품이 하류 포장에 맞는 모듈과 함께 배송되는지 확인하십시오.
소프트웨어 버전 및 라이선스, 지도 파일 형식 호환성, 프로그램 저장 용량, 그리고 선택적 정렬 알고리즘은 버전에 따라 다를 수 있습니다.
비전 시스템 교정. 교정 기록을 요청하고 가능하면 샘플 웨이퍼에서 비전 정렬 정확도를 확인하십시오.
서비스 이력. 사용 빈도가 높은 장비의 경우, 다이 커팅 헤드의 수명, 벨트/피더 교체 이력, 서보 모터 유지 보수 기록 등에 대해 문의하십시오.
