ASM MS100 Plusは、MS100プラットフォームをベースに、速度、ハンドリングの安定性、処理能力を向上させた、アップグレード版のウェハマッピング式ダイソーター兼プレース装置です。フロントエンドテストマッピングファイルから合否判定データとグレードデータを読み取り、ダイシングされたウェハまたはフィルムフレームからダイをピックアップし、カテゴリごとに指定された出力位置に配置します。
このプラットフォームは2～6インチのウェハに対応し、標準構成は2～4インチです。出力は、搭載されている出力モジュールに応じて、キャリア、フレーム、トレイ、またはチューブにルーティングできます。公表されているスループットは、1分あたり最大100回のピックアップサイクル（約6,000 UPH）で、ダイの回転は±1°以内に維持されます。独立したデュアルコネクタシステムは、シングルニードル構成とデュアルニードル構成の両方をサポートし、統合されたビジョンシステムは、各配置前にデュアルアライメント検証を実行します。
MS100 Plusは構成可能なプラットフォームであるため、同じモデル名でも、ピックアップツール、ウェハテーブル、出力キャリア、ソフトウェアライセンスが異なるユニットが存在する可能性があります。以下のセクションでは、まずプラットフォームの技術的機能について説明し、次に中古ユニットの構成と調達に関する考慮事項について説明します。
主な仕様
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 機器の種類 | ウェハマッピング式ダイソーター／チップソーター |
| ピックアップサイクル | 最大100サイクル/分（6,000 UPH） |
| 金型回転精度 | ±1° |
| 配置精度 | ±1ミル（平均） |
| ウェハー／フィルムフレームサイズ | 2～6インチ（標準2～4インチ、最大6インチ） |
| 拡張ウェハーサポート | 最大8インチの共晶ウェハーに対応（高さ調節可能なブラケット付き） |
| 結合力範囲 | 40g～250g |
| 出力メディア | キャリア、フレーム、トレイ、チューブ |
| コネクタ構成 | 独立したデュアルコネクタ、シングルニードルまたはデュアルニードル |
| プログラムストレージ | 最大200個のプログラムファイル |
| 消費電力 | 1300W (110VAC) |
| 入力電圧 | 100～240 VAC、50/60Hz |
| 圧縮空気の必要量 | 87 PSI (6 bar) |
| 圧縮空気消費量 | 155 LPM |
| フレーム構造 | 高強度スチールフレームとゴム製防振マウント |
構成および調達に関する注意事項
MS100 Plusは構成可能なプラットフォームです。同じモデル名を持つ2台のユニットでも、ピックアップツール、ウェハテーブルサイズ、出力キャリアモジュール、ソフトウェアライセンスレベルが異なる場合があります。中古ユニットを評価する場合、実際に製品が動作するかどうかを判断する上で重要な項目は以下のとおりです。
ウェーハ／フレームのフォーマット。設置済みのウェーハテーブルとフレームアダプタが、ウェーハのサイズとフィルムフレームの寸法に合致していることを確認してください。標準構成では2～4インチに対応していますが、6インチおよび8インチに対応するには専用のハードウェアが必要です。
ピックアップツール。付属のノズルとニードルセットを確認してください。ツールはダイのサイズに依存します。0.3mmダイ用に最適化されたセットアップは、ツールを変更しない限り2mmダイには使用できません。
出力モジュール。キャリア、フレーム、トレイ、チューブにはそれぞれ異なる出力モジュールが必要です。ご使用の下流パッケージに適合するモジュールが同梱されていることを必ずご確認ください。
ソフトウェアのバージョンとライセンス。マップファイル形式の互換性、プログラムの記憶容量、およびオプションのソートアルゴリズムは、バージョンによって異なる場合があります。
ビジョンシステムのキャリブレーション。キャリブレーション記録を請求し、可能であればサンプルウェハ上でビジョンアライメントの精度を確認してください。
保守履歴。高頻度使用機器の場合は、ダイカットヘッドの耐用年数、ベルト／フィーダーの交換履歴、サーボモーターの保守記録について確認してください。
