RUMAH > Produk > Peralatan Fabrik Wafer Bahagian Hadapan > Peralatan Pemendapan Filem Nipis >
Peralatan Fabrik Wafer Bahagian Hadapan

Peralatan Pemendapan Filem Nipis Semikonduktor

Terokai peralatan pemendapan filem nipis semikonduktor terpakai, termasuk sistem CVD dan PECVD untuk filem dielektrik dan pasifasi, platform PVD dan sputtering untuk lapisan logam dan penghalang, peralatan ALD untuk filem konformal ultra nipis dan sistem epitaksi atau MOCVD terpilih. Hantar maklumat model, filem sasaran, saiz wafer, platform semasa atau peralatan yang tersedia untuk mula menyemak kesesuaian peralatan, keserasian proses dan keperluan utiliti fabrikasi.

Layari Peralatan yang Tersedia Bincangkan Keperluan Pemendapan
CVD & PECVD PVD & Percikan ALD Epitaksi & MOCVD
Peralatan Semasa

Peralatan Pemendapan Semikonduktor Terpakai yang Tersedia

Layari sistem pemendapan CVD, PECVD, PVD, sputtering, ALD dan khusus semasa apabila tersedia. Filem sasaran, konfigurasi ruang, saiz wafer, pilihan yang dipasang, keadaan yang diketahui dan skop penghantaran disahkan untuk mesin tertentu.

Sumber Peralatan

Perlukan Platform Deposisi Yang Tidak Tersenarai Pada Masa Ini?

Hantarkan pengilang, model, filem sasaran, konfigurasi ruang, saiz wafer, platform pengeluaran semasa atau foto yang tersedia. Kami boleh menyemak penyenaraian aktif, peralatan yang sedang disediakan dan penyumberan berasaskan permintaan untuk platform yang diperlukan atau alternatif yang berkaitan.

Hantar Keperluan Model atau Filem
Arah Teknologi

Kaedah Pemendapan Berbeza Menyelesaikan Masalah Filem Berbeza

Jadual ini memberikan pembeli titik permulaan yang praktikal. Ia tidak menggantikan semakan platform yang terperinci, kerana satu bahan mungkin didepositkan melalui lebih daripada satu kaedah dan hasil yang tepat masih bergantung pada ruang, tetingkap proses dan resipi yang berkelayakan.

Apa yang Anda Perlu Bina Arahan Peralatan Yang Mungkin Berkaitan Mengapa Pembeli Mempertimbangkannya
Filem dielektrik, pasifasi, topeng keras atau berasaskan silikon yang biasa CVD / PECVD Kerap digunakan untuk proses filem berorientasikan produksi yang mantap di mana kadar pemendapan, kebolehulangan dan daya pemprosesan praktikal adalah penting.
Lapisan logam, penghalang, elektrod atau sentuhan PVD / Percikan Memindahkan bahan sasaran ke wafer melalui proses berasaskan percikan atau penyejatan dan digunakan secara meluas untuk filem konduktif dan penghalang.
Filem ultra nipis pada struktur tiga dimensi yang dalam atau kompleks ALD / PEALD Menyediakan kawalan ketebalan yang tepat dan liputan konformal yang kukuh di mana dinding sisi, parit dan ciri nisbah aspek tinggi penting.
Lapisan silikon kristal atau lapisan sebatian-semikonduktor Epitaksi / MOCVD Digunakan untuk pertumbuhan kristal terkawal seperti epitaksi silikon, GaN, GaAs, InP dan struktur sebatian-semikonduktor yang berkaitan.

Nama teknologi hanyalah lapisan pertama keputusan. Arahan peralatan akhir juga bergantung pada kualiti filem, bajet suhu, bahan prekursor atau sasaran, liputan struktur, saiz wafer, output pengeluaran dan proses yang telah layak di barisan hadapan.

Semakan Risiko Pra-Pembelian

Empat Risiko yang Perlu Disemak Sebelum Membeli Sistem Pemendapan Terpakai

Nama model boleh kelihatan sesuai manakala masalah sebenar tersembunyi dalam ruang, hasil filem, sambungan fabrikasi atau kapasiti pengeluaran. Empat semakan ini membantu menentukan sama ada mesin tertentu berbaloi untuk dipertimbangkan secara terperinci.

Apa yang Kami Semak Apa yang Kami Semak Risiko Ini Membantu Mengelakkan
Bolehkah ia menghasilkan filem sasaran anda? Konfigurasi ruang, bahan prekursor atau sasaran, gas proses, persediaan RF dan pemanasan serta aplikasi filem yang telah dikaitkan dengan platform. Elakkan menggerakkan mesin di tapak hanya untuk mendapati bahawa ruang, laluan gas atau persediaan prosesnya tidak dapat menghasilkan filem yang diperlukan.
Bolehkah ia memenuhi keperluan kualiti dan liputan filem? Ketebalan sasaran, keseragaman wafer, tegasan, zarah, kecacatan, liputan langkah, keseragaman dan struktur satah atau tiga dimensi yang mesti dicapai oleh filem. Elakkan keseragaman yang lemah, masalah zarah atau liputan yang boleh mengurangkan hasil atau kelewatan kelayakan proses.
Bolehkah keadaan wafer dan fabrikasi anda menyokongnya? Saiz dan pengendalian wafer, jejak peralatan, kuasa, vakum, ekzos, penyejukan, kawalan suhu dan sambungan gas khas atau prekursor. Elakkan daripada menerima mesin hanya untuk mendapati bahawa kuasa, air penyejuk, ekzos, bekalan gas atau antara muka kemudahan sedia ada tidak dapat menyokongnya.
Bolehkah ia memenuhi sasaran pengeluaran anda? Pengendalian wafer tunggal atau kelompok, kiraan ruang, masa kitaran, automasi, arah WPH yang dijangkakan dan output yang diperlukan bagi barisan pengeluaran sedia ada. Elakkan menambah mesin berkemampuan proses yang terlalu perlahan dan menjadi kesesakan pengeluaran seterusnya.
Periksa filem, fabrik dan kesesuaian produksi sebelum menggunakan mesin.

Hantarkan filem sasaran, platform semasa, maklumat ruang, saiz wafer, suhu proses, keadaan kemudahan atau foto yang tersedia. Kami akan membantu mengenal pasti risiko utama dan butiran yang masih perlu disahkan.

Minta Semakan Kesesuaian Sistem Pemendapan
Nilai Peralatan Terpakai

Teruskan Proses Filem Nipis yang Terbukti

Peralatan pemendapan terpakai sering dipertimbangkan apabila sebuah fabrik ingin mengekalkan proses filem yang berkelayakan, menggantikan platform yang dihentikan, menambah kapasiti talian matang atau memulihkan ruang dan bahagian kritikal yang diperlukan untuk memastikan sistem yang sedia ada dalam pengeluaran.

Gantikan Platform yang Dihentikan

Semak semula sistem keluarga yang sama atau sistem terpakai yang berkaitan apabila proses sedia ada masih berharga tetapi platform asal sukar untuk mencari platform baharu.

Tambah Kapasiti kepada Proses Filem yang Ditubuhkan

Tingkatkan output tanpa segera membina semula proses yang berkelayakan di sekitar penjanaan peralatan yang sama sekali berbeza.

Ruang Pemulihan, Modul dan Alat Ganti Kritikal

Sokong sistem lama dengan pemasangan ruang, pemanas, komponen RF, pam, injap, bahagian penghantaran gas dan item berkaitan platform lain apabila tersedia.

Penghantaran dan Sokongan Peralatan

Tentukan Skop Penghantaran, Kemudian Sokong Sistem yang Dipasang

Penghantaran mengesahkan dengan tepat mesin, ruang, aksesori, pembungkusan dan skop perkhidmatan yang disertakan. Sokongan selepas jualan bermula kemudian, apabila sistem pemendapan sedia ada atau yang dihantar memerlukan bantuan dengan penggera, vakum, ruang, pemanasan, RF, penghantaran gas, pemasangan atau alat ganti.

Sebelum Penghantaran

Sahkan Mesin, Ruang dan Skop Penyerahan

  • Senarai Platform dan Dewan Khusus

    Sahkan mesin, konfigurasi ruang, modul yang disertakan, keadaan yang diketahui dan aksesori yang dipersetujui dengan tepat.

  • Penyahpasangan, Pembungkusan dan Penghantaran

    Jelaskan siapa yang mengendalikan pembongkaran, pembungkusan eksport, pemuatan, pengangkutan dan penghantaran ke pelabuhan atau tapak yang dipersetujui.

  • Utiliti dan Penyediaan Proses

    Semak keperluan gas, prekursor, vakum, ekzos, penyejukan, kuasa dan kawalan suhu sebelum pemasangan.

  • Waranti dan Skop Sokongan yang Dipersetujui

    Catatkan tempoh jaminan, proses pelaporan, sokongan jarak jauh dan sebarang pembaikan, pemasangan atau perkhidmatan di tapak yang dipersetujui dalam sebut harga.

Selepas Ketibaan

Periksa Sistem yang Dihantar Sebelum Memulakan

  • Keadaan Pembungkusan dan Pengangkutan

    Rekodkan kerosakan yang boleh dilihat, penunjuk hentaman atau kecondongan, kelembapan dan keadaan pemunggahan sebelum membuka bungkusan.

  • Padankan Senarai Penghantaran

    Sahkan platform, ruang, nombor siri, aksesori dan modul yang dipersetujui dengan senarai pembungkusan atau penghantaran.

  • Periksa Ruang dan Kunci Pengangkutan

    Sahkan keadaan ruang, pemasangan bergerak, robot, kunci dan barang longgar sebelum kuasa, vakum atau gas proses dikenakan.

  • Laporkan Keadaan Luar Biasa Awal

    Hantar foto, video, maklumat penggera, butiran siri atau label bahagian sebelum permulaan jika ada yang kelihatan rosak, hilang atau tidak konsisten.

Sokongan Selepas Jualan dan Sistem Sedia Ada

Sokongan Teknikal untuk Sistem Pemendapan Sedia Ada dan Dihantar

Apabila sistem sedia ada atau yang dihantar mengalami penggera, masalah vakum, kerosakan ruang, masalah pemanasan, masalah RF, masalah penghantaran gas atau keperluan alat ganti, pasukan teknikal dan perkhidmatan kami boleh membantu menyemak maklumat yang ada dan menyelaras langkah praktikal seterusnya.

Ulasan Penggera dan Vakum

Aturkan skrin penggera, tingkah laku tekanan, keadaan operasi, foto atau video dan semak arah kerosakan yang mungkin berlaku sebelum pemeriksaan atau pembaikan.

Kebuk, Pemanas dan Sokongan RF

Bincangkan arahan pemeriksaan, pembaikan atau pemulihan untuk pemasangan ruang, pemanas, komponen RF, pam, injap dan subsistem yang berkaitan.

Pemadanan Alat Ganti

Semak hubungan platform dan pilihan bahagian yang mungkin daripada model mesin, nama ruang, nombor bahagian, label atau foto komponen.

Bantuan Pemasangan dan Permulaan

Semak utiliti, kunci pengangkutan, pemeriksaan kebocoran, vakum, gas, komunikasi dan soalan tentang permulaan pertama sebelum operasi biasa bermula.

Pembaikan, pemulihan, pentauliahan, perkhidmatan di tapak dan skop jaminan khusus disahkan untuk mesin individu dan sebut harga.

Minta Sokongan Sistem Pemendapan
Soalan Lazim

Soalan Lazim Peralatan Pemendapan Filem Nipis

Soalan-soalan ini merangkumi isu utama yang dihadapi pembeli semasa menyemak sistem pemendapan semikonduktor CVD, PECVD, PVD, ALD dan sistem pemendapan semikonduktor terpakai yang lain.

Apakah perbezaan antara peralatan CVD, PECVD, PVD dan ALD?

CVD dan PECVD membentuk filem melalui tindak balas kimia, dengan PECVD menggunakan bantuan plasma. PVD memindahkan bahan daripada sasaran atau sumber penyejatan. ALD membina filem melalui tindak balas permukaan pengehadan kendiri berulang untuk ketebalan yang tepat dan liputan konformal. Pilihan akhir bergantung pada filem sasaran dan keperluan proses.

Bagaimanakah saya tahu sama ada sistem pemendapan boleh memproses filem sasaran kita?

Mulakan dengan bahan sasaran, penggunaan ruang, prekursor atau sasaran, gas proses, julat suhu, saiz wafer dan sejarah platform yang diketahui. Butiran ini membantu mengenal pasti sama ada mesin tersebut berbaloi untuk dinilai dengan lebih mendalam.

Bolehkah platform yang sama mempunyai konfigurasi ruang yang berbeza?

Ya. Keluarga peralatan yang sama mungkin mempunyai ruang, penghantaran gas, RF, pemanas, pengendalian wafer, perisian dan pilihan yang dipasang yang berbeza. Mesin khusus mesti disahkan dan bukannya menganggap setiap unit adalah sama.

Apakah yang perlu diperiksa semasa menggantikan sistem pemendapan sedia ada?

Semak filem, konfigurasi ruang, saiz wafer, suhu proses, sistem gas atau prekursor, automasi, utiliti, penjanaan perisian dan perubahan praktikal yang diperlukan untuk penyepaduan yang berkelayakan.

Bolehkah anda mendapatkan platform pemendapan yang tidak disenaraikan pada masa ini?

Ya. Hantarkan maklumat pengilang, model, filem sasaran, ruang, saiz wafer atau platform semasa. Kami boleh menyemak senarai semasa, peralatan yang sedang disediakan dan kemungkinan sumber berasaskan permintaan tambahan.

Adakah anda membekalkan ruang pemendapan, modul dan alat ganti?

Permintaan mungkin termasuk pemasangan ruang, pemanas, komponen RF, pam, injap, bahagian penghantaran gas, pengawal dan item berkaitan platform lain. Ketersediaan mesti disemak dengan maklumat mesin, ruang dan bahagian yang tepat.

Hantar Keperluan Peralatan Pemendapan Filem Nipis Anda

Kongsikan filem sasaran, peralatan semasa, model, foto ruang, saiz wafer, suhu proses, matlamat penggantian atau keperluan sumber. Kami akan menggunakan maklumat yang ada untuk mempersempit hala tuju peralatan dan mengenal pasti langkah semakan praktikal seterusnya.

Bincangkan Keperluan Pemendapan