Sebagai versi DFG8540 yang dinaik taraf, mesin pengisar wafer semikonduktor DISCO DFG8541 menampilkan sistem kawalan GUI baharu yang intuitif, pengesanan ralat pintar dan keupayaan pemprosesan berbilang resipi yang fleksibel, sekali gus meningkatkan kecekapan operasi dan kestabilan proses.
DISCO DFG8541 melakukan pengisaran kasar dan halus yang seragam pada wafer silikon standard dan wafer silikon karbida kekerasan tinggi. Reka bentuk mekanikalnya yang tepat meminimumkan variasi ketebalan, keretakan tepi dan kerosakan bawah permukaan, memastikan penipisan ultra licin dan terkawal tekanan untuk bahan rapuh dan canggih.
Spesifikasi Teknikal DISCO DFG8541
| Parameter | Penerangan |
|---|---|
| Jenis Peralatan | Pengisar wafer automatik sepenuhnya |
| Pengilang | Perbadanan DISCO |
| Model | DFG8541 |
| Saiz Wafer | Φ200mm (8 inci) |
| Meja Chuck | 3 meja chuck |
| Paksi Pengisaran | 2 paksi |
| Kaedah Pengisaran | Pengisaran dalam suapan dengan putaran wafer |
| Roda Pengisaran | Roda berlian Φ200mm |
| Output Spindle | 4.2 kW |
| Kelajuan Putaran | 1,000 - 7,000 rpm |
| Aplikasi | Wafer Si, wafer SiC, bahan semikonduktor |
Spesifikasi adalah berdasarkan maklumat produk yang diterbitkan oleh DISCO.
