เครื่องฝังไอออนกระแสปานกลาง Varian E500

Varian E500 เป็นอุปกรณ์ที่น่าเชื่อถือ เครื่องฝังไอออนกระแสปานกลางเครื่องมือสำคัญสำหรับการโดปสารกึ่งตัวนำอย่างแม่นยำ ซึ่งให้คุณค่าที่ยอดเยี่ยมสำหรับโรงงานผลิตชิปที่มีเทคโนโลยีขั้นสูง สร้างขึ้นด้วยแหล่งกำเนิดไอออน Bernas และเครื่องวิเคราะห์มวลความละเอียดสูง รองรับสารโดปหลายชนิด รวมถึงโบรอน ฟอสฟอรัส และสารหนู ให้การปรับแต่งพลังงานที่ยืดหยุ่นเพื่อตอบสนองความต้องการในการสร้างบ่อ การปรับค่าเกณฑ์ และการโดปโพลีเกต

ด้วยระบบควบคุมปริมาณรังสีที่แม่นยำและความสม่ำเสมอของลำแสงที่เหนือกว่า เครื่องฝังไอออนนี้ช่วยลดความแปรปรวนระหว่างแผ่นเวเฟอร์และการปนเปื้อนของอนุภาคในระหว่างการฝังไอออน ระบบตรวจสอบลำแสงที่เชื่อถือได้จะทำการแก้ไขแบบเรียลไทม์ ทำให้มั่นใจได้ว่าโปรไฟล์การเจือสารมีความสม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังมาพร้อมกับหัวจับไฟฟ้าสถิตและแผ่นระบายความร้อนที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว ช่วยควบคุมความร้อนของแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพและป้องกันความเสียหายจากความร้อนแม้ในระหว่างการผลิตที่มีปริมาณมากอย่างต่อเนื่อง

ขอแนะนำอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำลังสูง อุปกรณ์แบบแยกชิ้น และ MEMS แพลตฟอร์มที่ได้รับการพิสูจน์แล้วในภาคสนามนี้มีอะไหล่มากมายและต้นทุนการดำเนินงานต่ำ หากคุณวางแผนที่จะขยายกำลังการผลิตสารเจือปนหรือเปลี่ยนเครื่องมือฝังสารแบบเดิม Varian E500 จะเป็นโซลูชันที่คุ้มค่า พร้อมใช้งานสำหรับการผลิต มีเวลาทำงานที่เสถียร และผสานรวมเข้ากับโรงงานผลิตได้ง่าย

ข้อมูลจำเพาะหลักของ Varian E500