บริการอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

วาล์วสุญญากาศ
การซ่อมแซมและปรับปรุงใหม่

บริการซ่อมวาล์วสุญญากาศสำหรับฉนวนเซมิคอนดักเตอร์และวาล์วควบคุมแรงดัน การรั่วไหล การเคลื่อนไหวที่เชื่องช้า และการติดตาม APC ที่ไม่เสถียร ล้วนต้องการวิธีการซ่อมแซมที่แตกต่างกัน GK-SEMI จะประเมินซีล ตัวกระตุ้น และเส้นทางการควบคุมตำแหน่ง พร้อมทั้งเลือกชิ้นส่วนทดแทนที่เหมาะสม เมื่อวาล์วเดิมไม่สามารถซ่อมแซมได้อย่างน่าเชื่อถือ

รีวิวซีลและเบลโลว์
การตรวจสอบความสมบูรณ์ของการรั่วไหล
การกระตุ้นและการป้อนกลับ
การตรวจสอบซีลที่เข้ากันได้

ขอบเขตการให้บริการ

กรณีที่วาล์วทำงานผิดปกติ

การรั่วไหลไม่เหมือนกับความเสียหายจากการที่ประตูวาล์วติดขัดหรือคันเร่งทำงานไม่เสถียร ประเภทของวาล์ว สารเคมีในกระบวนการ และตัวขับเคลื่อนจะเป็นตัวกำหนดขอบเขตการซ่อมแซมที่เหมาะสม

Representative complete semiconductor process vacuum gate valve for matching replacement

ความสมบูรณ์ของซีลและที่นั่ง

วาล์วประตู วาล์วร่อง และวาล์วแยกส่วนที่รั่วซึม จำเป็นต้องตรวจสอบที่นั่งวาล์ว พื้นผิวซีล ซีล และท่ออ่อนวาล์ว

  • พื้นผิวซีลที่นั่งและหน้าแปลน
  • ซีลและเบลโลว์ที่เข้ากันได้กับกระบวนการผลิต
  • การตรวจสอบการรั่วซึมภายในเทียบกับการตรวจสอบการรั่วซึมภายนอก

การเคลื่อนไหวและการทำงาน

การเคลื่อนที่ช้า การเคลื่อนที่ไม่ครบระยะ หรือการติดขัด อาจเกี่ยวข้องกับซีลลม ตลับลูกปืน กลไกเชื่อมต่อ มอเตอร์ หรือเซ็นเซอร์ตำแหน่งสุดท้าย

  • ฟังก์ชันแอคชูเอเตอร์แบบนิวแมติก/มอเตอร์
  • การเคลื่อนที่ เซ็นเซอร์จำกัด และการจัดแนว
  • การทำความสะอาดกลไกและการตรวจสอบการสึกหรอ

APC / การควบคุมคันเร่ง

การเปลี่ยนแปลงแรงดันที่ไม่แน่นอนอาจเกิดจากแผ่นลิ้นเร่งสกปรก ระบบขับเคลื่อนติดขัด หรือการป้อนกลับตำแหน่งที่ไม่ถูกต้อง ไม่ใช่แค่การรั่วไหลในห้องเผาไหม้เท่านั้น

  • การเคลื่อนที่ของลิ้นปีกผีเสื้อและคราบสะสมบนแผ่นเพลท
  • การป้อนกลับของมอเตอร์ ตัวเข้ารหัส หรือโพเทนชิโอมิเตอร์
  • การตรวจสอบตัวควบคุม/อินเทอร์เฟซและตำแหน่ง

การรับประกันทางวิศวกรรม

รักษาวาล์วให้อยู่ในสภาพใช้งานได้

เป้าหมายเชิงปฏิบัติคือการซ่อมแซมวาล์วให้สามารถปิดสนิท เคลื่อนที่ และตอบสนองได้ตามที่ต้องการ โดยไม่ต้องเปลี่ยนชุดประกอบทั้งหมดโดยไม่จำเป็น

01 / ฟื้นฟูการทำงานที่สำคัญ

เรามุ่งเน้นไปที่การทำงานที่ผิดพลาด เช่น การปิดผนึก การเคลื่อนที่ หรือการควบคุมแรงดัน การทำความสะอาด การเปลี่ยนซีล การซ่อมแซมกลไก และการซ่อมแซมระบบป้อนกลับ จะถูกเลือกใช้ให้เหมาะสมกับสภาพของวาล์วในแต่ละกรณี

02 / ตกลงเช็ค

แผนการตรวจสอบสามารถแยกวิเคราะห์การรั่วไหลของที่นั่งวาล์ว การรั่วไหลภายนอก การเคลื่อนที่ และการตอบสนองแบบป้อนกลับได้ ขีดจำกัดและวิธีการทดสอบการรั่วไหลต้องเชื่อมโยงกับการออกแบบวาล์วและข้อตกลงการใช้งาน

03 / รักษาความพอดีที่ติดตั้งไว้

สำหรับวาล์วรุ่นเก่าหรือรุ่นที่เลิกผลิตแล้ว การรักษาหน้าแปลนเดิม อินเทอร์เฟซตัวขับ และระบบควบคุมที่ติดตั้งไว้เดิมนั้นถือว่ามีประโยชน์ ในกรณีที่การซ่อมแซมไม่สามารถทำได้ เราจะช่วยหาชิ้นส่วนที่ตรงกับรุ่นและการกำหนดค่าให้

มาตรฐานทางวิศวกรรม

ซ่อมแซม ปรับปรุง หรือเปลี่ยนใหม่

ซ่อมแซมฟังก์ชันที่ล้มเหลว

สำหรับความเสียหายเฉพาะจุด ให้เน้นไปที่ซีลที่นั่งที่ได้รับผลกระทบ ระบบควบคุมป้อนกลับ กลไกเชื่อมต่อ หรือตัวกระตุ้น แทนที่จะสันนิษฐานว่าต้องซ่อมแซมทั้งชุดประกอบใหม่

Illustrative semiconductor vacuum valve actuator and seat service setup, showing the valve and loose seals แอคชูเอเตอร์และที่นั่ง

ซ่อมแซมชิ้นส่วนที่สึกหรอ

เมื่อการสึกหรอหรือคราบสะสมจากกระบวนการผลิตส่งผลกระทบต่อหลายชิ้นส่วน ควรประเมินการถอดประกอบ การทำความสะอาด ซีลที่เลือกใช้ ท่ออ่อน และส่วนประกอบกลไก วัสดุที่ใช้จะขึ้นอยู่กับองค์ประกอบทางเคมีและการออกแบบวาล์ว

Illustrative disassembled vacuum gate valve with bellows, shafts and sealing components for overhaul การถอดประกอบและซีล

ตรวจสอบการปิดผนึกและการเคลื่อนไหว

กำหนดการตรวจสอบที่เกี่ยวข้องสำหรับการรั่วไหลภายใน/ภายนอก ระยะชัก และการตอบสนองของกลไกป้อนกลับก่อนส่งคืน วาล์วที่ผ่านการทดสอบแล้วยังคงต้องได้รับการยืนยันความเข้ากันได้และการทำงานบนเครื่องมือที่ติดตั้ง

Illustrative vacuum gate valve connected to leak checking equipment and control interface การรั่วไหลและการเคลื่อนไหว

จัดหาวาล์วที่เข้ากันได้

หากความเสียหายของตัวถัง สภาพของที่นั่ง หรือความพร้อมของชิ้นส่วนทำให้ไม่สามารถซ่อมแซมได้อย่างน่าเชื่อถือ ให้เปรียบเทียบรุ่น หน้าแปลน ตัวกระตุ้น สัญญาณควบคุม และข้อกำหนดของกระบวนการเพื่อหาชิ้นส่วนทดแทน

Representative complete semiconductor process vacuum gate valve for matching replacement วาล์วที่เข้าชุดกัน

รายงานกรณีการวินิจฉัย

การแก้ไขปัญหาการเบี่ยงเบนของคันเร่ง APC

อาการที่รายงาน:
แรงดันภายในห้องเกิดการแกว่งตัวระหว่างกระบวนการกัดกรด ส่งผลให้กระบวนการเบี่ยงเบนและเกิดเศษเวเฟอร์เสียหาย ผู้ผลิตแนะนำให้เปลี่ยนชุดวาล์ว APC ทั้งหมด

การวินิจฉัยเบื้องต้น:
การตรวจสอบโดยการถอดชิ้นส่วนพบว่ามีอนุภาคสะสมอยู่บนแผ่นลิ้นเร่ง ทำให้เกิดการติดขัดทางกลไก ประกอบกับโพเทนชิโอมิเตอร์ปรับตำแหน่งที่เสื่อมสภาพทำให้เกิดการส่งสัญญาณป้อนกลับผิดพลาดไปยังตัวควบคุม

ขั้นตอนการซ่อมแซม:
เราได้ดำเนินการทำความสะอาดชุดลิ้นปีกผีเสื้อที่ได้รับผลกระทบ เปลี่ยนโพเทนชิโอมิเตอร์ และปรับเทียบระยะการเคลื่อนที่ของแอคชูเอเตอร์ใหม่ ตรวจสอบแล้วว่าวาล์วสามารถเคลื่อนที่ได้อย่างราบรื่นตั้งแต่ 0-100% และผ่านการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมแล้ว

บูรณะแล้ว การเดินทางราบรื่น 0-100%
< 1x10⁻⁹ อัตราการรั่วไหลของฮีเลียม (Pa·m³/s)
หลีกเลี่ยง อะไหล่แท้จากผู้ผลิต (OEM)

ก่อนที่คุณจะจัดส่ง

คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับการซ่อมวาล์วสุญญากาศ

คำตอบที่ชัดเจนเกี่ยวกับการทดสอบการรั่วไหล การซ่อมแซมแอคชูเอเตอร์ และการจัดหาชิ้นส่วนสำรอง

วาล์วรั่วภายในหรือภายนอกครับ/คะ?

การรั่วซึมภายในที่นั่งวาล์วและการรั่วซึมภายนอกตัววาล์ว/หน้าแปลนเป็นความผิดปกติที่แตกต่างกัน รุ่นวาล์ว การออกแบบซีล และสภาวะการทดสอบที่เหมาะสมจะเป็นตัวกำหนดวิธีการตรวจสอบและซ่อมแซม

คุณสามารถซ่อมวาล์วประตูหรือวาล์วร่องที่ติดขัดได้หรือไม่?

เราตรวจสอบการปนเปื้อน การเคลื่อนที่ของแอคชูเอเตอร์ การเชื่อมต่อ พฤติกรรมทางนิวแมติก และเซ็นเซอร์ตำแหน่ง การซ่อมแซมอาจมุ่งเป้าไปที่กลไกหรือแอคชูเอเตอร์แทนที่จะเปลี่ยนวาล์วทั้งชุด

การซ่อมแซมทุกครั้งจำเป็นต้องเปลี่ยนเบลโลว์ใหม่หรือไม่?

ไม่ การเปลี่ยนเบลโลว์ขึ้นอยู่กับสภาพ วัสดุ ความพร้อมใช้งาน และขอบเขตการซ่อมบำรุงที่ตกลงกันไว้ เบลโลว์ที่แตกหรือรั่วซึมไม่ควรถูกมองว่าเป็นเพียงปัญหาการทำความสะอาดธรรมดา

คุณรับซ่อมวาล์วปีกผีเสื้อของ APC หรือไม่?

ใช่แล้ว สามารถตรวจสอบอาการผิดปกติของการควบคุมแรงดันได้จากการเคลื่อนที่ของลิ้นปีกผีเสื้อ คราบสะสม ความผิดพลาดของแอคชูเอเตอร์ และการป้อนกลับตำแหน่ง ควรแยกแยะสาเหตุออกจากปัญหาแรงดันในห้องเผาไหม้อื่นๆ

ควรใช้วัสดุปิดผนึกชนิดใด?

การเลือกใช้ซีลขึ้นอยู่กับสารเคมีในกระบวนการ อุณหภูมิ และการออกแบบวาล์วที่ระบุไว้ ชื่อทางการค้า FKM หรือ FFKM เพียงอย่างเดียวไม่ได้รับประกันความเหมาะสมสำหรับทุกการใช้งาน

หลังจากซ่อมเสร็จแล้วจะตรวจสอบวาล์วได้อย่างไร?

งานที่เกี่ยวข้องอาจรวมถึงการตรวจสอบการรั่วซึมของที่นั่งวาล์ว การรั่วซึมภายนอก การเคลื่อนไหว และการตรวจสอบการป้อนกลับ ค่าจำกัดการรั่วซึมเชิงตัวเลขใดๆ จะถูกตกลงกันไว้สำหรับวาล์วและวิธีการทดสอบนั้นๆ

คุณสามารถจัดหาวาล์วสุญญากาศที่เลิกผลิตแล้วได้หรือไม่?

เราสามารถตรวจสอบชิ้นส่วนทดแทนโดยพิจารณาจากรุ่น รูปแบบหน้าแปลน ประเภทแอคชูเอเตอร์ อินเทอร์เฟซควบคุม วัสดุ และสภาวะกระบวนการ การเปลี่ยนชิ้นส่วนโดยพิจารณาจากรูปลักษณ์ภายนอกเพียงอย่างเดียวจะไม่ได้รับการยอมรับ

ข้อมูลใดบ้างที่ใช้ในการเริ่มต้นการประเมินลิ้นหัวใจ?

โปรดส่งข้อมูลป้ายชื่อวาล์ว ประเภทวาล์ว รายละเอียดของตัวขับ/ระบบควบคุม อาการรั่วหรือการเคลื่อนไหวผิดปกติ และตัวกลางที่ใช้ในกระบวนการ ภาพถ่ายของหน้าแปลนและตัวขับจะช่วยได้มากเป็นพิเศษ

ขั้นตอนต่อไป

ต้องการซ่อมวาล์วสุญญากาศใช่ไหม?

โปรดแจ้งรุ่นวาล์ว สารที่ใช้ในกระบวนการ และอาการผิดปกติ วิศวกรของเราจะทำการประเมินและวางแผนการแก้ไขอย่างชัดเจน

ติดต่อ GK-SEMI ออนไลน์ ↗