Dịch vụ thiết bị bán dẫn
Van chân không
Sửa chữa & Tân trang
Sửa chữa van chân không dùng cho van cách ly bán dẫn và van điều khiển áp suất. Rò rỉ, chuyển động chậm chạp và theo dõi APC không ổn định đòi hỏi các biện pháp sửa chữa khác nhau. GK-SEMI đánh giá gioăng, bộ truyền động và đường dẫn điều khiển vị trí, với lộ trình thay thế phù hợp khi van ban đầu không thể được khôi phục một cách đáng tin cậy.
Phạm vi dịch vụ
Nguyên nhân gây hỏng hóc hiệu năng van
Rò rỉ không giống với sự cố kẹt van hoặc van tiết lưu không ổn định. Loại van, thành phần hóa học của quá trình và bộ truyền động sẽ quyết định phạm vi sửa chữa hữu ích.
Độ kín và độ chắc chắn của gioăng và đế
Các van cổng, van khe và van cách ly bị rò rỉ cần được kiểm tra phần đế, bề mặt làm kín, gioăng và ống thổi.
- bề mặt làm kín của ghế và mặt bích
- Các loại gioăng và ống thổi tương thích với quy trình
- Kiểm tra rò rỉ bên trong so với kiểm tra rò rỉ bên ngoài
Chuyển động & Truyền động
Hiện tượng hành trình chậm, di chuyển không hoàn toàn hoặc kẹt có thể liên quan đến gioăng khí nén, ổ bi, khớp nối, động cơ hoặc cảm biến vị trí cuối.
- Chức năng truyền động khí nén/động cơ
- Hành trình, cảm biến giới hạn và căn chỉnh
- Vệ sinh cơ cấu và kiểm tra độ mài mòn
APC / Điều khiển ga
Hiện tượng dao động áp suất có thể liên quan đến bướm ga bị bẩn, bộ truyền động bị kẹt hoặc phản hồi vị trí không chính xác, chứ không chỉ đơn thuần là rò rỉ trong buồng đốt.
- Sự chuyển động của bướm ga và cặn bám trên tấm.
- Phản hồi từ động cơ, bộ mã hóa hoặc chiết áp
- Kiểm tra bộ điều khiển/giao diện và vị trí
Đảm bảo kỹ thuật
Giữ cho van hoạt động bình thường
Mục tiêu thực tiễn là khôi phục lại chức năng đóng kín, vận hành và phản hồi của van như dự định mà không cần phải thay thế toàn bộ cụm van một cách không cần thiết.
01 / Khôi phục chức năng quan trọng
Chúng tôi tập trung vào chức năng bị lỗi: làm kín, vận hành hoặc điều chỉnh áp suất. Việc vệ sinh, thay thế gioăng, sửa chữa cơ cấu và sửa chữa phản hồi được lựa chọn dựa trên tình trạng thực tế của van.
02 / Xác nhận kiểm tra
Kế hoạch kiểm định có thể phân tách rò rỉ ở gioăng, rò rỉ bên ngoài, hành trình và phản hồi. Giới hạn và phương pháp kiểm tra rò rỉ phải phù hợp với thiết kế van và thỏa thuận dịch vụ.
03 / Bảo quản sự vừa vặn đã lắp đặt
Đối với các van cũ hoặc đã ngừng sản xuất, việc giữ lại mặt bích, giao diện bộ truyền động và các bộ điều khiển đã lắp đặt ban đầu có thể rất có giá trị. Trong trường hợp việc sửa chữa không khả thi, chúng tôi sẽ giúp tìm một sản phẩm tương đương dựa trên kiểu máy và cấu hình.
Tiêu chuẩn kỹ thuật
Sửa chữa, đại tu hoặc thay thế
Sửa chữa chức năng bị lỗi
Đối với lỗi riêng lẻ, hãy tập trung vào gioăng ghế, phản hồi điều khiển, cơ cấu liên kết hoặc bộ truyền động bị ảnh hưởng thay vì cho rằng toàn bộ cụm cần được sửa chữa lại.
Bộ truyền động & ghế
Sửa chữa các bộ phận bị mòn
Khi sự mài mòn hoặc cặn bám trong quá trình sản xuất ảnh hưởng đến nhiều bộ phận, cần đánh giá việc tháo lắp, làm sạch, các gioăng, ống thổi và các bộ phận cơ cấu được lựa chọn. Vật liệu phụ thuộc vào thành phần hóa học và thiết kế van.
Tháo rời & niêm phong
Kiểm tra độ kín và chuyển động
Xác định các bước kiểm tra cần thiết đối với rò rỉ bên trong/bên ngoài, hành trình và phản hồi trước khi van trở về vị trí ban đầu. Van đã được thử nghiệm vẫn cần được xác nhận về tính tương thích và chức năng trên thiết bị đã lắp đặt.
Rò rỉ & chuyển động
Tìm mua van phù hợp
Nếu hư hỏng thân máy, tình trạng ghế ngồi hoặc sự khan hiếm phụ tùng cản trở việc sửa chữa đáng tin cậy, hãy so sánh kiểu máy, mặt bích, bộ truyền động, tín hiệu điều khiển và các yêu cầu quy trình để tìm bộ phận thay thế.
Van phù hợp
Báo cáo trường hợp chẩn đoán
Khắc phục hiện tượng trôi lệch ga APC
Triệu chứng được báo cáo:
Áp suất trong buồng dao động trong quá trình khắc, gây ra hiện tượng sai lệch quy trình và làm hỏng wafer. Nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM) khuyến nghị thay thế toàn bộ cụm van APC.
Chẩn đoán trên bàn thử:
Quá trình tháo dỡ cho thấy có sự tích tụ các hạt bụi trên tấm bướm ga gây ra hiện tượng kẹt cơ học, cộng thêm việc biến trở vị trí bị hỏng gửi tín hiệu phản hồi sai đến bộ điều khiển.
Biện pháp khắc phục:
Chúng tôi đã tiến hành vệ sinh cụm van tiết lưu bị ảnh hưởng, thay thế chiết áp và hiệu chỉnh lại hành trình của bộ truyền động. Van được kiểm tra hoạt động trơn tru từ 0-100% và vượt qua bài kiểm tra rò rỉ khí heli.
Trước khi bạn gửi hàng
Câu hỏi thường gặp về sửa chữa van chân không
Câu trả lời rõ ràng về kiểm tra rò rỉ, sửa chữa bộ truyền động và phương án dự phòng.
Van bị rò rỉ bên trong hay bên ngoài?
Rò rỉ bên trong gioăng và rò rỉ bên ngoài thân/mặt bích là hai lỗi riêng biệt. Kiểu van, thiết kế gioăng và điều kiện thử nghiệm phù hợp sẽ quyết định các bước kiểm tra và phương án sửa chữa.
Bạn có thể sửa chữa van cổng hoặc van khe bị kẹt không?
Chúng tôi kiểm tra tình trạng nhiễm bẩn, hành trình của bộ truyền động, cơ cấu liên kết, hoạt động của hệ thống khí nén và các cảm biến vị trí. Việc sửa chữa có thể tập trung vào cơ cấu hoặc bộ truyền động thay vì thay thế toàn bộ van.
Liệu mọi công trình tân trang đều cần thay mới ống thổi khí?
Không. Việc thay thế ống thổi phụ thuộc vào tình trạng, chất liệu, tính sẵn có và phạm vi đại tu đã thỏa thuận; ống thổi bị nứt hoặc rò rỉ không được coi là vấn đề vệ sinh đơn giản.
Bạn có nhận sửa chữa van tiết lưu APC không?
Đúng vậy, các triệu chứng điều khiển áp suất có thể được kiểm tra bằng cách xem xét chuyển động của bướm ga, cặn bám, lỗi bộ truyền động và phản hồi vị trí. Cần phân biệt nguyên nhân này với các vấn đề khác liên quan đến áp suất buồng đốt.
Nên sử dụng loại vật liệu làm kín nào?
Việc lựa chọn gioăng phụ thuộc vào hóa chất trong quá trình, nhiệt độ và thiết kế van cụ thể. Chỉ riêng tên thương mại FKM hoặc FFKM không đảm bảo tính phù hợp cho mọi ứng dụng.
Van được kiểm tra như thế nào sau khi sửa chữa?
Các công việc liên quan có thể bao gồm kiểm tra rò rỉ ở gioăng, rò rỉ bên ngoài, chuyển động và phản hồi. Bất kỳ giới hạn rò rỉ nào được quy định bằng số đều do nhà sản xuất thống nhất đối với loại van và phương pháp thử nghiệm cụ thể.
Bạn có thể tìm mua các loại van chân không đã lỗi thời không?
Chúng tôi có thể xem xét sản phẩm thay thế dựa trên kiểu máy, kiểu mặt bích, loại bộ truyền động, giao diện điều khiển, vật liệu và điều kiện quy trình. Sản phẩm thay thế không được chấp nhận chỉ dựa trên vẻ bề ngoài.
Những thông tin nào là bước khởi đầu cho việc đánh giá van tim?
Hãy gửi thông tin về nhãn van, loại van, chi tiết bộ truyền động/điều khiển, triệu chứng rò rỉ hoặc chuyển động bất thường và môi chất của quá trình. Hình ảnh mặt bích và bộ truyền động đặc biệt hữu ích.
Bước tiếp theo
Cần sửa chữa van chân không?
Hãy chia sẻ thông tin về kiểu van, môi chất trong quy trình và các triệu chứng sự cố. Kỹ sư của chúng tôi sẽ đưa ra đánh giá rõ ràng và kế hoạch khắc phục.
Liên hệ với GK-SEMI trực tuyến ↗