真空バルブ
修理・改修

内部シート漏れと外部本体／フランジ漏れは、それぞれ別の不具合です。点検方法と修理手順は、バルブの機種、シール設計、および適切な試験条件によって決定されます。

汚染状況、アクチュエータの作動範囲、リンケージ、空気圧挙動、位置センサーなどを検査します。修理は、バルブ全体を交換する代わりに、機構またはアクチュエータのみを対象とする場合があります。

いいえ。ベローズの交換は、状態、材質、入手可能性、および合意されたオーバーホール範囲によって異なります。ひび割れや漏れのあるベローズは、単純な清掃の問題として扱うべきではありません。

はい、圧力制御に関する症状は、スロットルの動き、堆積物、アクチュエータの故障、位置フィードバックなどについて確認できます。原因は、他のチャンバー圧力の問題と区別する必要があります。

シール材の選定は、使用する化学物質、温度、および指定されたバルブ設計によって異なります。FKMまたはFFKMという商標名だけでは、あらゆる用途に適しているとは限りません。

関連する作業には、シート漏れ、外部漏れ、動作およびフィードバックのチェックが必要となる場合があります。数値的な漏れ許容値は、特定のバルブおよび試験方法に応じて合意されます。

交換部品は、型式、フランジ形状、アクチュエータタイプ、制御インターフェース、材質、およびプロセス条件に基づいて審査されます。外観のみで代替品が認められることはありません。

銘板、バルブの種類、アクチュエータ／制御の詳細、漏れや動作の兆候、およびプロセス媒体をお知らせください。フランジとアクチュエータの写真があると特に役立ちます。