เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์อัตโนมัติ ACCRETECH UF200R ขนาด 200 มม. แทนที่สถานีตรวจสอบแบบดั้งเดิมที่เทอะทะด้วยกระบวนการอัตโนมัติที่คล่องตัว เหมาะอย่างยิ่งกับขนาดและปริมาณงานของโรงงานผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาดกลาง เครื่องนี้ผสานรวมการจัดตำแหน่งด้วยภาพที่มีความแม่นยำสูงและการควบคุมการเคลื่อนที่แบบวงปิด ช่วยแก้ไขการเลื่อนของเวเฟอร์เพียงเล็กน้อยได้อย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างรอบการทำงานที่รวดเร็ว เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำและความสม่ำเสมอในการสัมผัสของหัววัดทุกครั้ง
ระบบนี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อความหลากหลายในการใช้งาน สามารถจัดการกับความหนาของเวเฟอร์และประเภทชิปทั่วไปได้อย่างน่าเชื่อถือ ขั้นตอนการทำงานที่เรียบง่ายช่วยลดความต้องการในการตั้งค่า ทำให้สามารถตรวจสอบเวเฟอร์ได้อย่างต่อเนื่องและมีประสิทธิภาพโดยมีการแทรกแซงด้วยตนเองน้อยที่สุด
ข้อมูลเครื่องจักร ACCRETECH UF200R
| ผู้ผลิต | ACCRETECH / โตเกียว เซอิมิตสึ |
|---|---|
| แบบอย่าง | ยูเอฟ200อาร์ |
| ประเภทอุปกรณ์ | เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์อัตโนมัติความเร็วสูง |
| ช่วงเวเฟอร์มาตรฐาน | แผ่นเวเฟอร์ขนาด 5 ถึง 8 นิ้ว ตามข้อมูลรุ่นของผู้ผลิต |
| ตัวรองรับเวเฟอร์ (ตัวเลือกเสริม) | การทดสอบเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้ว เมื่อติดตั้งการกำหนดค่าที่จำเป็นแล้ว |
| การใช้งานอุปกรณ์ทั่วไป | อุปกรณ์ MEMS แบบแยกส่วน พลังงาน ตรรกะ และเข้ากันได้ |
| หน้าที่หลัก | การจัดการเวเฟอร์ การจัดแนว การวางตำแหน่ง และการสัมผัสระหว่างหัววัดและการ์ดสำหรับการทดสอบทางไฟฟ้า |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์ทดสอบเซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| การกำหนดค่าการทดสอบ | ขึ้นอยู่กับเครื่องทดสอบ หัวทดสอบ การ์ดโพรบ หัวจับ และอินเทอร์เฟซที่ติดตั้ง |
| ขอบเขตการส่งมอบ | อ้างอิงจากใบเสนอราคาและรายการอุปกรณ์ที่ได้รับการยืนยันแล้ว |
| สนับสนุน | การตรวจสอบข้อบกพร่องเบื้องต้น การจับคู่ชิ้นส่วน และการหารือเกี่ยวกับการซ่อมแซม |
| การส่งสินค้า | บรรจุภัณฑ์เพื่อการส่งออกและการจัดส่งทั่วโลก |
