เตาอบแบบแนวตั้ง TEL ALPHA 8S ใช้สำหรับประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เป็นชุดสำหรับการทำงานที่อุณหภูมิสูง เช่น การออกซิเดชันด้วยความร้อน การอบอ่อน และการแพร่กระจาย โครงสร้างเตาอบแบบแนวตั้งช่วยให้สามารถประมวลผลแผ่นเวเฟอร์หลายแผ่นพร้อมกันได้ภายในสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่ควบคุมได้
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วทั้งบริเวณเตาเผา การควบคุมการไหลของก๊าซ และระยะห่างระหว่างแผ่นเวเฟอร์ ล้วนมีผลต่อความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิต แพลตฟอร์ม ALPHA 8S ถูกจัดจำหน่ายในรูปแบบต่างๆ โดยท่อเตาเผา ฮีตเตอร์ ระบบส่งก๊าซ และฮาร์ดแวร์ควบคุมที่ติดตั้งไว้จะเป็นตัวกำหนดสูตรกระบวนการผลิตที่มีให้เลือกใช้
ก่อนเลือกซื้อเครื่อง TEL ALPHA 8S มือสอง โปรดตรวจสอบรายละเอียดการกำหนดค่ากระบวนการ ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ สภาพของท่อเตา และการตั้งค่าระบบแก๊ส รายละเอียดเหล่านี้จะเป็นตัวกำหนดว่าเครื่องนั้นเหมาะสมกับกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่ หรือการอบอ่อนที่ต้องการหรือไม่
ข้อมูลจำเพาะหลักของ TEL ALPHA 8S
| ผู้ผลิต | บริษัท โตเกียว อิเล็กตรอน จำกัด |
|---|---|
| ยี่ห้อ | โทรศัพท์ |
| แบบอย่าง | อัลฟ่า 8เอส |
| ประเภทอุปกรณ์ | เตาอบแบบแนวตั้งสำหรับกระบวนการแพร่กระจายและแปรรูปด้วยความร้อน |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | เวเฟอร์ขนาด 150 มม. และ 200 มม. ตามรายการที่มีอยู่ |
| การประมวลผลเวเฟอร์ | การประมวลผลความร้อนแบบกลุ่ม |
| แอปพลิเคชันกระบวนการที่เผยแพร่แล้ว | การออกซิเดชันแบบเปียก การออกซิเดชันแบบแห้ง การอบอ่อน และ LPCVD ที่ขึ้นอยู่กับการจัดเรียงตัว |
| การกำหนดค่ากระบวนการจริง | ขึ้นอยู่กับการติดตั้งท่อเตา แผงควบคุมแก๊ส ภาชนะควอตซ์ และการยืนยันสูตรการผลิต |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
