Relau Difusi Menegak TEL ALPHA 8S memproses wafer semikonduktor dalam kelompok untuk operasi suhu tinggi seperti pengoksidaan terma, penyepuhlindapan dan resapan. Seni bina relau menegaknya membolehkan berbilang wafer menjalani kitaran terma yang sama dalam persekitaran proses terkawal.
Keseragaman suhu merentasi zon relau, kawalan aliran gas dan jarak wafer semuanya mempengaruhi ketekalan proses. Platform ALPHA 8S dibekalkan dalam konfigurasi yang berbeza, dengan tiub relau, pemanas, sistem penghantaran gas dan perkakasan kawalan yang dipasang menentukan resipi proses yang tersedia.
Sebelum memilih TEL ALPHA 8S terpakai, sahkan konfigurasi proses khusus, saiz wafer yang disokong, keadaan tiub relau dan persediaan sistem gas. Butiran ini menentukan sama ada mesin sepadan dengan proses pengoksidaan, resapan atau penyepuhlindapan yang diperlukan.
Spesifikasi Utama TEL ALPHA 8S
| Pengilang | Tokyo Electron Limited |
|---|---|
| Jenama | TEL |
| Model | ALPHA 8S |
| Jenis Peralatan | Relau Pemprosesan Terma dan Penyebaran Kelompok Menegak |
| Saiz Wafer yang Disokong | Wafer 150 mm dan 200 mm, mengikut senarai yang tersedia |
| Pemprosesan Wafer | Pemprosesan haba kelompok |
| Permohonan Proses yang Diterbitkan | Pengoksidaan basah, pengoksidaan kering, penyepuhlindapan dan LPCVD yang bergantung kepada konfigurasi |
| Konfigurasi Proses Sebenar | Tertakluk kepada tiub relau yang dipasang, panel gas, kuarza dan pengesahan resipi |
| Keadaan | Peralatan semikonduktor terpakai |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa, pemeriksaan dan pengesahan konfigurasi |
