DISCO DFD6341 全自動雙軸切割鋸

DISCO DFD6341 是一款全自動雙軸切割機，適用於 Φ200 mm 晶圓。其 X 軸回程速度高達 1,000 mm/s。雙軸之間距離的縮短可減少雙刀片切割製程的循環時間。

DISCO DFD6341 全自動雙軸切割鋸主要特點：

• 突破性吞吐量： DFD6341 融合了為 Φ300mm DFD6362 開發的吞吐量增強技術，其 X 軸回程速度高達 1000 mm/s，比傳統型號提升了 10 倍。優化的加減速設計延長了最大速度下的行程，從而顯著提高了吞吐量。

• 面向雙主軸設計： 透過最大限度地減少主軸之間的距離，顯著縮短雙切加工過程中的加工時間。

• 節省空間的設計： 與 DFD6340 相比，佔地面積減少了 3%。四種配件——變壓器、UPS、CO₂ 噴射器和增壓幫浦——可以整合到內部，而不會增加機器的佔地面積。

• 高速閃光對準（選購）： 結合氙氣閃光燈和高速 CCD 快門，無需停止卡盤工作台即可進行對準，進一步縮短對準時間並提高吞吐量。

對於採用 200mm 晶圓單晶製程的封裝廠而言，低產能和切割精度不穩定是常見的瓶頸。 DISCO DFD6341 是一款專為 8 英寸晶圓切割而設計的雙軸全自動切割鋸，它採用了源自 DISCO 300mm 平台的高速軸技術，在解決週期時間限制的同時，保持了大批量晶片分離所需的穩定切割質量。

許多老式雙軸切割機有軸回程速度慢、分度間隔長的問題，限制了大量生產效率。 DFD6341 將 X 軸回程速度提升至 1000 毫米/秒，並優化了所有運動軸的加減速曲線。配合減小的相對主軸間隙，標準晶圓切割作業的雙刀片切割週期顯著縮短。其緊湊的佔地面積比上一代 DFD6340 型號縮小了約 3%，並集成了變壓器、UPS、CO₂ 噴射器和增壓泵的安裝空間，無需擴大機器底座。

DISCO DFD6341 主軸及運動規格對比