DISCO DAD3241は、直径8インチまでのワークピースに対応するコンパクトなシングルスピンドル式ダイシングソーです。ただし、200×200mmの正方形のワークピースを切断するには、専用のチャックテーブルと特定の機械構成が必要です。
高速スピンドル技術と精密な切削幅調整により、安定した切削深さ制御を実現し、脆いウェーハ表面の欠けやひび割れを最小限に抑えることで、デバイスの歩留まりを向上させます。統合された洗浄および検査機能により、連続運転中のダイシング異常の検出が容易になります。
その堅牢な機械構造は、持続的な大量生産を支えます。柔軟な処理パラメータ(レシピ)プログラミングにより、様々なウェーハ厚やブレードタイプに対応できるため、半導体フロントエンドパッケージングプロセスにおいて、汎用性が高く重要な装置となっています。

DISCO DAD3241 マシン情報
| メーカー | ディスコ |
|---|---|
| モデル | DAD3241 |
| 機器の種類 | コンパクトな単軸手動ダイシングソー |
| 最大ワークピースサイズ | 標準モデル仕様では最大Φ8インチまで |
| 正方形ワークピースサポート | 適切なジグチャックテーブルと特殊構成を使用すれば、最大200×200mmまで対応可能 |
| X軸切断範囲 | 210 mm |
| X軸切削速度 | 0.1~800 mm/秒 |
| Y軸切断範囲 | 210 mm |
| Y軸インデックスステップ | 0.0001 mm |
| Z軸最大ストローク | 32.2 mm |
| スピンドル出力 | 60,000 rpmで1.8 kW |
| スピンドル回転速度範囲 | 6,000~60,000分⁻¹ |
| スピンドル定格トルク | 0.29 N·m |
| 機械寸法 | 約650×950×1,670mm |
| 機械重量 | 約550kg |
| 状態 | 中古精密ダイシング装置 |
| 納品範囲 | 見積もりと確認済みの機器リストに基づく |
| 配送 | 輸出梱包および世界各国への配送 |