ESC修理

標準的な納期は、必要なサービス範囲（表面修復か、電気系統の徹底的な修復か）と部品の入手状況によって異なります。初回診断評価後におおよその納期をお知らせし、最終見積書で確定いたします。

お客様からESCの部品番号と故障症状をお送りいただきます。弊社では、受入検査と基本テストを実施いたします。その結果に基づき、修理の可否、​​推奨される作業範囲、見積もり、納期を記載した正式な技術報告書を作成いたします。お客様の書面による承認なしに作業を進めることはありません。

はい。すべての部品レベルの修理および改修には、通常の使用条件下における作業および交換部品の不具合に対する標準保証が付いています。具体的な保証条件は、修理契約書に記載されています。

はい。既存のチャックが修理不能な場合、または修理期間が生産ニーズに合わない場合は、当社の部品調達ネットワークを通じて、互換性のある代替品または再生品を暫定的な解決策として見つけることができます。

静電チャックは、微粒子汚染や物理的な衝撃に非常に敏感です。純正のOEM輸送箱とESD対策済みの梱包材のご使用をお勧めします。純正の梱包材が入手できない場合は、弊社チームまでご連絡いただき、具体的な梱包方法についてご相談ください。

はい。当社は、ファブやOEM向けの緊急の単体修理と、計画的な大量再生プログラムの両方に対応しています。お客様のチャンバーメンテナンスサイクルに合わせて、当社の生産スケジュールを調整することも可能です。