の スクリーン SU-3200 シングルウェーハ洗浄システムは、300mmウェーハの湿式処理を優れたスループットと堅牢なプロセス性能で実現します。シングルウェーハ処理により各基板が分離されるため、バッチ洗浄ワークフローでよく発生する相互汚染を回避できます。
微粒子、有機物、金属残留物を除去しながら、繊細なパターンや薄膜を保護します。柔軟なレシピ互換性により、FEOL、BEOL、および高度なパッケージング工程に対応します。システムは連続運転で安定した稼働時間を維持し、欠陥レベルを低減し、ウェハ製造ラインの安定した生産量をサポートします。
スクリーンSU-3200の技術情報
| パラメータ | 説明 |
|---|---|
| メーカー | SCREEN半導体ソリューション |
| モデル | SU-3200 |
| 機器の種類 | シングルウェハー湿式洗浄システム |
| ウェハーサイズ | 300mm |
| 処理方法 | 単一ウェハーの洗浄、すすぎ、乾燥 |
| 最大チャンバー構成 | 構成によっては最大12個の処理室 |
| 最大スループット | プロセス条件にもよるが、最大で毎時800枚のウェハーを処理可能。 |
| ウェハーハンドリング | ウェハーの自動ロード、搬送、処理、およびアンロード |
| 化学薬品供給 | 構成依存型化学物質送達システム |
| プロセス制御 | プログラム可能な洗浄、すすぎ、薬品供給、乾燥レシピ |
| 主な用途 | 高度なロジック、メモリ、エッチング後、ストリップ後、および関連するウェーハ洗浄プロセス |
正確な仕様は、機械の製造年、ハードウェア構成、チャンバー数、化学モジュール、ソフトウェアバージョン、工場オプション、および以前の用途によって異なる場合があります。
購入前に、機器の銘板、構成リスト、設備要件、および現在の稼働状況を確認する必要があります。
