DISCO DFG8560 ウェハーグラインダー

200mmの薄型ウェハーは、ダイシング前にDISCO DFG8560自動バックグラインダーを通されます。これにより、全体の厚みのばらつきが一定に保たれ、エッジの欠けが減少するため、脆いウェハーへの損傷が軽減されます。

2つのスピンドルが連続したサイクルで粗研削と精密研削を行います。厚み測定値は常にフィードバックされ、作業の進行に合わせて研削設定が調整されます。材料は均一に除去され、ウェーハのひび割れも少なくなります。洗浄と乾燥は薄化処理の直後に行われ、ウェーハはきれいな状態で処理工程を終えます。