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Applied Materials Raider® Edge ECD 단일 웨이퍼 전기 도금 플랫폼

단일 웨이퍼 도금 플랫폼, 150/200/300mm. 두꺼운 구리, 자성 합금, AuSn 솔더, 금 비아 라이너, Cu TSV/TGV 충진, 박막 웨이퍼 후면 금속화. 다중 구역 양극 처리로 초박형 시드층의 균일성 확보, 이온 멤브레인으로 화학 물질 수명 연장, "티칭 필요 없는" 자동화로 재충전 과정 생략.

Applied Materials Raider® Edge ECD Single-Wafer Electroplating Platform 장비 이미지
구성 검토 모델 및 설치된 옵션
신규/중고 공급 프로젝트 가능 여부에 따라 달라질 수 있습니다.
글로벌 배송 목적지 기반 평가
기술 견적 요청 패키지 및 프로세스 매칭

Applied Materials의 Raider® Edge ECD 단일 웨이퍼 도금 플랫폼은 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼 크기를 지원하며, 구성 가능한 아키텍처를 통해 제조업체는 다양한 웨이퍼 크기, 기판 유형 및 생산 요구 사항에 유연하게 대응할 수 있습니다. Applied Materials는 Raider Edge ECD를 금속 및 합금 도금, 에칭, 세척 및 유전체 층 공정을 포함한 광범위한 응용 분야를 지원할 수 있는 플랫폼으로 설명합니다.

컴팩트한 시스템 크기와 높은 처리량의 웨이퍼 핸들링, 그리고 다중 챔버 처리 기능을 결합한 이 플랫폼은 제어된 전기화학적 증착 공정이 필요한 반도체 제조 시설, 첨단 패키징 시설, 연구 센터 및 생산 라인에 이상적입니다.

Applied Materials Raider® Edge ECD - 기술 사양

사양세부
제조업체응용재료
모델Raider® Edge ECD
장비 유형단일 웨이퍼 전기 도금 플랫폼
공정 기술전기화학적 증착(ECD)
프로세스 애플리케이션금속 도금
웨이퍼 가공단일 웨이퍼 처리
주요 응용 분야반도체 상호 연결 및 고급 패키징
장비 상태중고 장비
시스템 구성사용 가능한 장비 구성에 따라 달라질 수 있습니다.

Applied Materials Raider Edge ECD Wafer Plating System