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應用材料公司 Raider® Edge ECD 單晶圓電鍍平台

單晶圓電鍍平台,尺寸可選150/200/300mm。適用於厚銅、磁性合金、AuSn焊料、金通孔襯墊、Cu TSV/TGV填充以及減薄晶圓的背面金屬化。多區陽極可確保超薄種子層的均勻性,離子膜可延長化學試劑的使用壽命,「無需示教」自動化功能可跳過重複電鍍步驟。

Applied Materials Raider® Edge ECD Single-Wafer Electroplating Platform 設備圖片
配置審查 型號和安裝選項
全新/二手供應 視項目情況而定
全球配送 基於目的地的評估
技術詢價 包裝和流程匹配

應用材料公司的 Raider® Edge ECD 單晶圓電鍍平台支援 150mm、200mm 和 300mm 三種晶圓尺寸;其可配置架構為製造商提供了極大的靈活性,能夠滿足各種晶圓尺寸、基板類型和生產要求。應用材料公司將 Raider Edge ECD 描述為一個能夠支援多種應用的平台,包括金屬和合金電鍍、蝕刻、清洗和介電層製程。

該平台結合了緊湊的系統佔地面積、高通量晶圓處理和多腔室處理能力,非常適合半導體製造廠、先進封裝設施、研究中心和需要受控電化學沉積過程的生產線。

應用材料公司 Raider® Edge ECD – 技術規格

規格細節
製造商應用材料
模型Raider® Edge ECD
設備類型單晶圓電鍍平台
工藝技術電化學沉積(ECD)
流程申請金屬沉積
晶圓加工單晶圓加工
主要應用領域半導體互連和先進封裝
設備狀況二手設備
系統配置取決於現有設備配置

Applied Materials Raider Edge ECD Wafer Plating System