PVA TePla / Technics GIGA 690 membawa pemprosesan plasma gelombang mikro kelompok kepada pengeluaran wafer 6 inci, termasuk semikonduktor kuasa dan peranti diskret. Penyingkiran fotoresis dan pembersihan polimer pasca proses adalah antara aplikasi utamanya, terutamanya apabila permukaan wafer mesti dibersihkan sebelum langkah pembuatan seterusnya.
Sumber plasma bebas elektrodnya mengelakkan sentuhan elektrod secara langsung dengan persekitaran proses, membantu mengehadkan pencemaran logam. Plasma oksigen menguraikan sisa organik, manakala komposisi gas dan keadaan proses mempengaruhi kadar penyingkiran dan kesannya pada filem di bawahnya.
Bagi peralatan GIGA 690 terpakai, pertimbangan pembelian utama adalah keadaan ruang, kapasiti pemuatan kelompok, prestasi kawalan plasma dan rekod penyelenggaraan. Mengesahkan konfigurasi yang dipasang dan ketersediaan komponen gantian boleh membantu menentukan sama ada mesin tersebut sesuai dengan barisan pengeluaran yang dimaksudkan.
Spesifikasi Utama PVA TePla GIGA 690
| Pengilang | PVA TePla / Teknik |
|---|---|
| Model | TINGGI 690 |
| Jenis Peralatan | Sistem Pembersihan dan Pengaktifan Plasma Ketuhar Gelombang Mikro Tekanan Rendah |
| Tahun Peralatan | 2010, mengikut senarai peralatan yang ada |
| Bahan Kebuk Proses | Aluminium |
| Isipadu Ruang | 91 liter |
| Dimensi Dalaman Ruang | 450 × 450 × 450 mm |
| Frekuensi Plasma | 2.45 GHz |
| Kuasa Ketuhar Gelombang Mikro | 0–1,000 W |
| Saluran Gas Standard | Dua saluran, setiap satu dengan pengawal aliran jisim dan injap solenoid |
| Sambungan Vakum | DN 63 ISO K |
| Tekanan Asas | Lebih kurang 2 × 10-2 mbar |
| Tekanan Proses | Lebih kurang 0.2–2 mbar |
| Masa Pemindahan | Lebih kurang 1 minit |
| Kawalan Sistem | Pengawal berasaskan PC dengan paparan grafik 10.4 inci |
| Sistem Pengoperasian | Sistem pengendalian masa nyata QNX |
| Bekalan Elektrik | 230 V, fasa tunggal, 15 A, 50/60 Hz |
| Bekalan Gas Proses | Sambungan Swagelok 1/4 inci, tekanan input 1–2 bar |
| Bekalan Udara Mampat | Sambungan Swagelok 1/4 inci, tekanan input 4–6 bar |
| Dimensi Anggaran | 1,050 × 1,750 × 800 mm |
| Berat Anggaran | 195 kg, sistem sahaja dan tidak termasuk pam vakum |
| Keadaan | Peralatan semikonduktor terpakai |
| Ketersediaan | Tertakluk kepada stok semasa, pemeriksaan dan pengesahan konfigurasi |
