ASMPT MS90 เป็นระบบคัดแยกเวเฟอร์ขั้นต้นที่ใช้ข้อมูลแผนผังเวเฟอร์จากการทดสอบต้นน้ำเพื่อเลือก จัดประเภทใหม่ และคัดแยกชิ้นส่วนชิปไปยังตำแหน่งเอาต์พุตที่กำหนด ระบบจะอ่านไฟล์การคัดแยก จัดแนวเวเฟอร์ และส่งชิ้นส่วนชิปแต่ละชิ้นตามเกรดที่กำหนด แตกต่างจากเครื่องเชื่อมชิ้นส่วนชิปหรืออุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ หน้าที่หลักของระบบนี้คือการคัดแยกชิ้นส่วนชิปในระดับเวเฟอร์
ระบบรองรับขนาดไดตั้งแต่ 0.15 × 0.15 มม. ถึง 5 × 5 มม. พื้นที่หยิบชิ้นงานมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง Ø150 มม. เมื่อเปิดใช้งานระบบมองจากด้านล่าง หรือ 125 × 125 มม. หากปิดใช้งาน สำหรับเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว โหมดโต๊ะเวเฟอร์ครึ่งแผ่นจะขยายพื้นที่หยิบชิ้นงาน เมทริกซ์เอาต์พุตขนาด 25 × 8 รองรับเกรดได้สูงสุด 200 เกรด โดยมี 150 เกรดในการกำหนดค่ามาตรฐาน
ความแม่นยำในการวางตำแหน่งอยู่ที่ ±38 µm ในการกำหนดค่ามาตรฐาน และ ±10 µm เมื่อใช้ระบบตรวจสอบจากด้านล่าง (bottom vision) ซึ่งเป็นตัวเลือกเสริม ระบบตรวจสอบจากด้านล่างช่วยปรับปรุงการจัดแนวเมื่ออิเล็กโทรดหรือลวดลายด้านหน้าขัดขวางการจดจำจากด้านบน แต่จะเพิ่มขั้นตอนการตรวจสอบระดับชิ้นส่วน ซึ่งอาจลดปริมาณงานลงได้ ในกรณีที่ความแม่นยำมาตรฐานเพียงพอ การกำหนดค่าพื้นฐานอาจให้เวลาในการทำงานที่เร็วกว่า
ข้อมูลจำเพาะหลัก
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบคัดแยกแผนที่เวเฟอร์แบบหน้าสายการผลิต |
| ช่วงขนาดแม่พิมพ์ | 0.15 มม. × 0.15 มม. – 5 มม. × 5 มม. |
| เลือกช่วง (เปิดมุมมองด้านล่าง) | ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 150 มม. |
| เลือกช่วง (ปิดการมองเห็นด้านล่าง) | 125 มม. × 125 มม. |
| การจัดการเวเฟอร์ขนาดใหญ่ | รองรับเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 8 นิ้ว (โหมดโต๊ะวางแผ่นเวเฟอร์ครึ่งแผ่น) |
| ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่ง XY (มาตรฐาน) | ± 38 ไมโครเมตร |
| ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง XY (มุมมองด้านล่าง) | ± 10 µm |
| ความจุการจำแนกประเภทถัง | ระดับคะแนนสูงสุด 200 ระดับ (เมทริกซ์ผลลัพธ์ 25 × 8); มาตรฐานสูงสุด 150 ระดับ |
| สถาปัตยกรรมเคลื่อนไหว | แขนยึดแบบสองหัว; มอเตอร์ขับตรงและมอเตอร์เชิงเส้น |
| ขนาดเวเฟอร์ | ขนาดมาตรฐาน 2–6 นิ้ว; รองรับขนาด 8 นิ้วผ่านโต๊ะวางเวเฟอร์ครึ่งแผ่น |
| การตรวจสอบย้อนกลับ | การสแกนบาร์โค้ด 1 มิติและ 2 มิติ |
| คุณสมบัติการตั้งค่า | ระบบดีด XY ไฟฟ้า |
| ขนาดพื้นที่ (กว้าง × ลึก × สูง) | 1,420 มม. × 1,420 มม. × 2,045 มม. |
หมายเหตุเกี่ยวกับการกำหนดค่าและการจัดซื้อ
MS90 เป็นแพลตฟอร์มที่สามารถปรับแต่งได้ และเครื่องสองเครื่องภายใต้ชื่อรุ่นเดียวกันสามารถมีตัวเลือกด้านการมองเห็น เมทริกซ์เอาต์พุต และใบอนุญาตซอฟต์แวร์ที่แตกต่างกันได้ หากคุณกำลังพิจารณาเครื่องมือสอง รายการต่อไปนี้จะเป็นตัวกำหนดว่าเครื่องนั้นจะสามารถใช้งานกับผลิตภัณฑ์ของคุณได้หรือไม่:
การกำหนดค่าการมองเห็น ตรวจสอบว่าอุปกรณ์มาพร้อมกับการเปิดใช้งานการมองเห็นด้านล่างหรือไม่ ความแตกต่างระหว่างความแม่นยำในการวางตำแหน่ง ±38 µm และ ±10 µm เป็นผลมาจากการกำหนดค่าฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ ไม่ใช่การอัปเกรดในภาคสนาม
ตารางแสดงผลลัพธ์ ตรวจสอบจำนวนกล่องผลลัพธ์ที่ติดตั้งไว้ ตารางขนาด 25 × 8 รองรับสินค้าได้ 200 เกรด ตารางขนาดเล็กกว่าจะจำกัดจำนวนผลิตภัณฑ์ที่สามารถคัดแยกได้ในรอบเดียว
โหมดโต๊ะวางเวเฟอร์ หากคุณประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว โปรดตรวจสอบให้แน่ใจว่าได้ติดตั้งและใช้งานโหมดโต๊ะวางเวเฟอร์ครึ่งแผ่นแล้ว
เลือกอุปกรณ์ฉีดพลาสติก ตรวจสอบชุดหัวฉีดและเข็มที่ให้มาด้วย อุปกรณ์ฉีดพลาสติกจะขึ้นอยู่กับขนาดของแม่พิมพ์ — ชุดอุปกรณ์สำหรับแม่พิมพ์ขนาด 0.15 มม. ไม่สามารถใช้แทนกันได้กับชุดอุปกรณ์สำหรับแม่พิมพ์ขนาด 5 มม.
ตรวจสอบความเข้ากันได้ของเวอร์ชันซอฟต์แวร์และไฟล์แผนที่ ตรวจสอบให้แน่ใจว่าซอฟต์แวร์ที่ติดตั้งสามารถอ่านรูปแบบไฟล์แผนที่ที่สร้างโดยอุปกรณ์ทดสอบต้นทางของคุณได้
ประวัติการซ่อมบำรุงระบบการเคลื่อนที่ ระบบขับเคลื่อนโดยตรงและมอเตอร์เชิงเส้นมีช่วงเวลาการซ่อมบำรุงที่ยาวนาน แต่ขอให้ขอเอกสารบันทึกการซ่อมบำรุงสำหรับแขนยึดและแท่น XY หากมีให้
การสแกนบาร์โค้ด ตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีเครื่องสแกน 1D/2D และได้รับการสอบเทียบแล้ว หากกระบวนการของคุณต้องการการตรวจสอบย้อนกลับของล็อตสินค้า
เนื้อหาได้รับการตรวจสอบโดยคุณหลี่ วิศวกรอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสบการณ์ 10 ปีในด้านการประกอบและทดสอบขั้นสุดท้าย
