เครื่องพิมพ์ลวดลายด้วยแสง Canon FPA-3000i4 i-line ทำงานที่ความยาวคลื่นการฉายแสง 365 นาโนเมตร และรองรับการพิมพ์ลวดลายด้วยแสงบนเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว ขึ้นอยู่กับการกำหนดค่าที่ติดตั้ง การใช้งานรวมถึงเซมิคอนดักเตอร์กำลังสูง อุปกรณ์แบบแยกชิ้น MEMS และกระบวนการอื่นๆ ที่การพิมพ์ลวดลายด้วยแสง i-line ที่มีอยู่แล้วตรงตามข้อกำหนดการสร้างลวดลาย
ระบบเลนส์ฉายภาพมีค่ารูรับแสงเชิงตัวเลข 0.63 อัตราการลดขนาด 1:5 และพื้นที่การฉายแสง 22 × 22 มม. การจัดตำแหน่งแบบซ้อนทับรองรับการสร้างลวดลายหลายชั้น ในขณะที่ความละเอียดและปริมาณงานที่ทำได้นั้นขึ้นอยู่กับสภาวะกระบวนการ ระบบสารต้านทาน และการกำหนดค่าเวเฟอร์
สำหรับโรงงานผลิตฟิล์มที่กำลังพิจารณาเครื่อง Canon FPA-3000i4 มือสอง สิ่งสำคัญที่ควรพิจารณา ได้แก่ ความแม่นยำของแท่นวาง ประสิทธิภาพการจัดแนว สภาพของเลนส์ ประวัติการบำรุงรักษา และความเข้ากันได้กับอุปกรณ์เคลือบและล้างฟิล์มที่มีอยู่ ควรตรวจสอบอะไหล่และฝ่ายสนับสนุนทางเทคนิคสำหรับเครื่องรุ่นนั้นๆ ก่อนตัดสินใจซื้อ
ข้อมูลจำเพาะของ Canon FPA-3000i4
| ผู้ผลิต | แคนนอน |
|---|---|
| แบบอย่าง | เอฟพีเอ-3000ไอ4 |
| ประเภทอุปกรณ์ | เครื่องสเต็ปเปอร์สำหรับการพิมพ์หิน i-Line |
| ความยาวคลื่นการเปิดรับแสง | 365 นาโนเมตร ไอ-ไลน์ |
| ปณิธาน | 0.35 ไมโครเมตร |
| อัตราส่วนการลดการฉายภาพ | 5:1 |
| ขนาดเวเฟอร์ | แผ่นเวเฟอร์ SEMI ขนาด 8 นิ้ว วางในแนวราบ |
| เครื่องโหลดเวเฟอร์ | ประเภท 6-L |
| ขนาดเป้าเล็ง | 6 นิ้ว |
| ตัวเปลี่ยนเป้าเล็ง | แคนนอนแบบมาตรฐาน |
| ประเภทห้อง | ซีดี-80 |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าคงเหลือและการตรวจสอบในปัจจุบัน |
