AG Associates Heatpulse 8108 เป็นเครื่องประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็วสำหรับเวเฟอร์เดี่ยวที่มีความหลากหลายและได้รับการยอมรับในด้านประสิทธิภาพการประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็วที่มีความแปรปรวนต่ำ สามารถรองรับขั้นตอนการผลิตหลักๆ ได้แก่ การอบอ่อนด้วยไอออน การสร้างซิลิไซด์ และการออกซิเดชันฟิล์มบาง สำหรับการผลิตเวเฟอร์ขนาด 150 มม. ถึง 200 มม.
อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วเป็นพิเศษและการควบคุมความร้อนแบบอิสระหลายโซนช่วยให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์อย่างยอดเยี่ยม การตรวจวัดอุณหภูมิด้วยไพโรมิเตอร์ความแม่นยำสูงควบคู่กับการควบคุมแบบป้อนกลับแบบวงปิดช่วยลดความคลาดเคลื่อนของอุณหภูมิ ทำให้ได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอและทำซ้ำได้ในแต่ละแผ่นเวเฟอร์
เครื่องประมวลผลความร้อนที่ได้รับการพิสูจน์แล้วในภาคสนามนี้ มีขนาดกะทัดรัดและใช้งานได้อย่างยืดหยุ่น รองรับการตั้งโปรแกรมสูตรที่กำหนดเองและการจัดการตลับต่อตลับที่มีประสิทธิภาพสูง ความน่าเชื่อถือสูงและอัตราความล้มเหลวต่ำ ทำให้เป็นการอัพเกรดที่คุ้มค่าในการรักษาเสถียรภาพของกระบวนการความร้อนและเพิ่มผลผลิตโดยรวมของโรงงานผลิต
ข้อมูลจำเพาะหลักของ AG Heatpulse 8108
| ผู้ผลิต | เอจี แอสโซซิเอทส์ |
|---|---|
| กลุ่มผลิตภัณฑ์ | ฮีทพัลส์ |
| แบบอย่าง | 8108 |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็วสำหรับเวเฟอร์เดี่ยว |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | ขนาดสูงสุด 200 มม.; รายการสินค้าที่มีจำหน่ายระบุขนาดเวเฟอร์ 150 มม. และ 200 มม. |
| วิธีการให้ความร้อน | แผงหลอดไฟทังสเตนด้านบนและด้านล่าง |
| การวัดอุณหภูมิ | เทอร์โมคัปเปิลหรือไพโรมิเตอร์ ขึ้นอยู่กับการติดตั้ง |
| การควบคุมอุณหภูมิ | การควบคุมอุณหภูมิกระบวนการแบบวงปิด |
| วิธีการทำความเย็น | การระบายความร้อนด้วยเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบผนังเย็นในแพลตฟอร์มที่เผยแพร่แล้ว |
| แอปพลิเคชันกระบวนการที่เผยแพร่แล้ว | การอบอ่อน การแพร่กระจายที่ควบคุมได้ การออกซิเดชัน การกระตุ้น และการก่อตัวของซิลิไซด์ |
| บรรยากาศกระบวนการ | ขึ้นอยู่กับแผงควบคุมแก๊ส ห้อง และอุปกรณ์เสริมที่ติดตั้งไว้ |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
