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Besi Datacon 2200 EVO 多晶片晶片焊接機

Besi Datacon 2200 EVO 晶片黏著機,最多可配備四個工作頭,用於晶片貼裝和倒裝晶片。每台機器的配置都略有不同——購買前請確認規格和庫存。

Besi Datacon 2200 EVO Multi-Chip Die Bonder 設備圖片
配置審查 型號和安裝選項
全新/二手供應 視項目情況而定
全球配送 基於目的地的評估
技術詢價 包裝和流程匹配

Datacon 2200 EVO 是 Besi 公司面向多晶​​片模組組裝的晶片貼裝機,定位於先進封裝領域。它不僅僅是一台貼片機——在標準配置下,它可在一台機器上完成晶片貼裝、倒裝晶片和多晶片貼裝製程。晶片可來自晶圓、華夫格封裝或凝膠封裝,並貼裝到基板、載板、PCB 或引線框架上。熱貼裝和冷貼裝流程均無需更換平台即可完成。

準確度分等級。標準型機器的 X/Y 軸精度為 ±10µm(3σ),θ 軸精度為 ±0.15°。 evo plus 型機器的精度進一步提高到 ±7µm。 evo advanced 型機器採用更新的龍門架和視覺系統,精度可達 ±3µm(3σ)。您需要哪個等級的機器取決於您的產品對定位誤差的容忍度——相機模組和電源模組的精度要求並不相同。

吞吐量: 晶片貼裝能力最高可達每模組7000片/小時,倒裝晶片浸塗製程最高可達2500片/小時,非浸塗製程最高可達3200片/小時。晶片尺寸從0.17毫米到50毫米。厚度最小可達50微米,可依需求提供更薄的規格。

真正的決定因素在於版本拆分。 標準版 evo 是通用型主力機種。高級版 evo 追求極致精度。高級版 evo Plus 則兼顧了成本和精度,介於兩者之間。但如果您的工藝涉及燒結或高力鍵合,那麼 evo hF 才是您的理想之選——其鍵合力高達 500N,而標準版僅為 75N。這並非簡單的配置升級,而是截然不同的機型。這些機器的配置選項非常豐富,因此二手設備的規格表反映的是原始買家的訂單內容,而非該平台的實際功能。在最終決定購買之前,請務必逐行核對實際的刀具清單,確保與您的工藝流程完全匹配。

Besi Datacon 2200 EVO multi-chip die bonder

Besi Datacon 2200 EVO 多固晶機的關鍵規格

方面標準進化進化+進化高級版evo hF
X/Y 精度(3σ)±10µm±7µm±3µm±10µm
Theta 精度 @3σ±0.15°±0.10°±0.07°未公開
鍵力範圍0.5–75N未公開0.5–25N 閉環≤500牛頓
模具尺寸(模具連接)0.17–50毫米0.17–50毫米0.17–30毫米未公開
模具厚度>50µm50微米–7毫米50微米–17毫米未公開
晶圓尺寸2″–12″2″–12″4″–12″12吋半
基板工作範圍325×200毫米325×200毫米325×200毫米未公開
晶片連接 UPH≤7,000/模組≤7,000/模組≤7,000/模組未公開
尺寸(長×寬×高)1160×1225×1750毫米1160×1225×1800毫米1160×1225×1800毫米未公開
重量約1300公斤未公開≈1,450公斤/模組未公開
邦德頭加熱≤450°C(可選)≤450°C(可選)≤450°C(可選)≤450°C

註:evo hF 專為燒結和高力鍵結而設計。其 500N 的鍵結力上限與標準機型的 75N 不在同一級別——這種區別源於工藝,而非精度等級的提升。 evo plus 的鍵結力資料未在公開資料中單獨揭露,此處留空。