O₂ หรือ Ar — แต่ละชนิดทำหน้าที่แตกต่างกัน
ออกซิเจนกำจัดสารตกค้างอินทรีย์โดยการออกซิเดชันทางเคมี อาร์กอนกำจัดออกไซด์ตามธรรมชาติโดยการกระแทกด้วยไอออนทางกายภาพ ทั้งสองชนิดไม่สามารถใช้แทนกันได้
เรามีเครื่องทำความสะอาดพลาสมามือสองจาก March, Diener, Plasma Etch, PVA TePla และแพลตฟอร์มอื่นๆ ไม่ว่าจะเป็นระบบดูดฝุ่นแบบเป็นชุด ระบบลอกอัตโนมัติ และระบบระดับเวเฟอร์ สำหรับการกระตุ้นพื้นผิว การกำจัดคราบสกปรก และการกำจัดออกไซด์ เครื่องที่เหมาะสมกับสายการผลิตของคุณขึ้นอยู่กับสี่สิ่ง ได้แก่ รูปแบบของผลิตภัณฑ์ เคมีของก๊าซ รูปทรงของห้อง และความสม่ำเสมอของการบำบัดที่ต้องการ การซื้อเครื่องทำความสะอาดพลาสมามือสองที่ผิดพลาดส่วนใหญ่มักเกิดจากหนึ่งในสี่ประเด็นนี้ คือ รุ่นตรงกัน เครื่องมาถึงแล้ว แต่ห้องไม่สามารถรองรับการโหลดชิ้นงานจริงได้ หรือเคมีของก๊าซไม่ตรงกับกลไกพื้นผิวที่คุณต้องการ บอกความต้องการของคุณมา เราจะคัดเลือกเครื่องที่เหมาะสมกับสายการผลิตของคุณให้
ออกซิเจนกำจัดสารตกค้างอินทรีย์โดยการออกซิเดชันทางเคมี อาร์กอนกำจัดออกไซด์ตามธรรมชาติโดยการกระแทกด้วยไอออนทางกายภาพ ทั้งสองชนิดไม่สามารถใช้แทนกันได้
ความเข้มข้นของสารที่ทำปฏิกิริยาจะเปลี่ยนแปลงไปตามพื้นที่ผิวทั้งหมดที่รับสาร สูตรที่พัฒนาขึ้นบนชิ้นตัวอย่างเพียงชิ้นเดียวจึงไม่สามารถนำไปใช้กับล็อตการผลิตเต็มรูปแบบได้อย่างเป็นสัดส่วนโดยตรง
การส่งคลื่นวิทยุความถี่สูง (RF) ปริมาณเท่ากันไปยังห้องขนาดเล็ก จะสร้างปฏิสัมพันธ์กับพื้นผิวที่แตกต่างอย่างมากจากการส่งคลื่นวิทยุความถี่สูงปริมาณเท่ากันไปยังห้องขนาดใหญ่
เราเคยเห็นผู้ซื้อสั่งซื้อเครื่องทำความสะอาดพลาสมาโดยคาดหวังว่าจะช่วยแก้ปัญหาอนุภาคตกค้าง แต่กลับพบว่าเครื่องนั้นกำจัดคราบอินทรีย์ได้ แต่ไม่สามารถกำจัดอนุภาคตกค้างได้ อนุภาคเหล่านั้นยังคงต้องใช้ขั้นตอนการทำความสะอาดแบบเปียกอยู่ดี ลูกค้าส่วนใหญ่เริ่มมองหาเครื่องทำความสะอาดพลาสมาหลังจากพบปัญหาเกี่ยวกับการยึดติด การเปียก หรือการเกาะติดของวัสดุ วิธีที่เร็วที่สุดในการเลือกอุปกรณ์คือการระบุผลิตภัณฑ์ สภาพพื้นผิวที่สงสัย และกระบวนการต่อไป
โปรดระบุว่าชิ้นส่วนเหล่านั้นเป็นเวเฟอร์ แถบโลหะ โครงลวดนำไฟฟ้า ซับสเตรต หรืออุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ และจำเป็นต้องมีการเตรียมการใดๆ ก่อนการติดชิ้นส่วน การเชื่อมต่อสายไฟ การเติมสารใต้ชิ้นส่วน การขึ้นรูป หรือการเคลือบหรือไม่
ตรวจสอบการทำความสะอาดด้วยพลาสมา ก่อนการติดชิ้นส่วนหรือการเชื่อมต่อสายไฟ เมื่อการปนเปื้อนของแผ่นรอง แผ่นนำ หรือพื้นผิว อาจส่งผลต่อการยึดเกาะและความสม่ำเสมอของกระบวนการ พลาสมาออกซิเจนเป็นวิธีที่ใช้กันทั่วไปสำหรับการกำจัดสารอินทรีย์ ส่วนพลาสมาอาร์กอนใช้สำหรับการลดออกไซด์บนแผ่นรองโลหะ
การกระตุ้นพื้นผิวอาจช่วยให้วัสดุอุดช่องว่าง กาว หรือสารเคลือบกระจายตัวได้สม่ำเสมอมากขึ้น เมื่อการเปียกที่ไม่ดีเกิดจากพลังงานพื้นผิวหรือสารตกค้างอินทรีย์ ผลกระทบจากปริมาณส่วนผสมมีความสำคัญในที่นี้ สูตรที่ใช้ได้ผลกับชิ้นส่วนหนึ่งอาจต้องปรับเปลี่ยนสำหรับชิ้นงานทั้งหมด
ประเมินการบำบัดด้วยพลาสมา ก่อนการขึ้นรูปหรือการห่อหุ้ม เมื่อต้องการเตรียมการที่ดีกว่าในการยึดเกาะระหว่างพื้นผิวของบรรจุภัณฑ์และวัสดุป้องกัน ตรวจสอบให้แน่ใจว่าแหล่งกำเนิดพลาสมาจะไม่ทำให้จุดเชื่อมต่อสายไฟที่เปิดโล่งหรือโครงสร้างที่บอบบางเสียหาย
สำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์และแผง ให้ตรวจสอบความไวของอุปกรณ์ วิธีการนำส่ง ความสม่ำเสมอ และตรวจสอบว่าการบำบัดที่ต้องการนั้นเข้ากันได้กับแพลตฟอร์มพลาสมาจริงหรือไม่ การบำบัดขอบและตรงกลางต้องตรงกัน — เงาเป็นปัญหาที่พบได้ทั่วไปในชิ้นงานที่มีอัตราส่วนความสูงต่อความกว้างสูง
เครื่องทำความสะอาดพลาสมาสองเครื่องที่มีชื่อรุ่นเดียวกัน อาจมีคุณสมบัติที่แตกต่างกันมาก ขนาดของห้องติดตั้ง เครื่องกำเนิดคลื่นความถี่วิทยุ การจัดวางอิเล็กโทรด ท่อส่งก๊าซ และระบบการจัดการ มีความสำคัญมากกว่าชื่อรุ่นเพียงอย่างเดียว ตรวจสอบสินค้าคงคลังปัจจุบัน จากนั้นส่งข้อกำหนดกระบวนการของคุณมาให้เราเพื่อตรวจสอบการกำหนดค่า
ระบบทำความสะอาดด้วยพลาสมา Nordson MARCH AP-600 เครื่องแบบตั้งโต๊ะ การทำความสะอาดแบบแห้งสำหรับพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ บรรจุภัณฑ์ ...
ระบบพลาสมา PVA TePla IoN 200 RF รองรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. และพื้นผิวขนาดใหญ่ การทำความสะอาดแบบแห้งช่วยขจัดสารอินทรีย์และออกไซด์...
ระบบทำความสะอาดด้วยพลาสมา Nordson MARCH AP-300 แบบตั้งโต๊ะ ความถี่ RF 13.56 MHz พร้อมระบบปรับความต้านทานอัตโนมัติ ปรับได้สูงสุด 7 ระดับ...
เครื่องทำความสะอาดพื้นผิวและเวเฟอร์ Panasonic PSX307 ใช้พลาสมาแบบแผ่นขนานในการทำความสะอาดพื้นผิว ใช้ก๊าซอาร์กอน ออกซิเจน หรือก๊าซผสม ชุดยกช่วยจัดการกับแผ่นเวเฟอร์บางๆ...
เส้นทางการทำงานของเครื่องจักรควรสอดคล้องกับตัวลำเลียงผลิตภัณฑ์ ปริมาณการผลิต และการปรับสภาพพื้นผิวที่ต้องการ อุปกรณ์ที่มีคุณสมบัติพลาสมาคล้ายกันอาจไม่เหมาะสมหากห้องหรือระบบการจัดการไม่สามารถรองรับการไหลของผลิตภัณฑ์จริงได้
ระบบสุญญากาศแบบแบทช์รองรับผลิตภัณฑ์ผสม การพัฒนาขั้นตอนการผลิต และการผลิตในปริมาณน้อยถึงปานกลาง โดยใช้ถาด ชั้นวาง ตัวยึด โครงตะกั่ว บรรจุภัณฑ์ หรือเวเฟอร์
ยืนยัน: ปริมาตรห้อง, การจัดวางอิเล็กโทรด, อุปกรณ์ยึดชิ้นงาน, แหล่งกำเนิดพลาสมา, ช่องส่งก๊าซ, ปั๊ม และการควบคุมสูตรการทำงาน
ระบบแถบและแม็กกาซีนอัตโนมัติได้รับการออกแบบมาเพื่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสุดท้ายที่ทำซ้ำได้ โดยที่การจัดการ การควบคุมสูตร และการตรวจสอบย้อนกลับเป็นส่วนหนึ่งของสายการผลิต
ยืนยัน: ขนาดของแถบกระสุน ประเภทของแม็กกาซีน ทิศทางการส่งถ่าย เป้าหมายของรอบการทำงาน โปรโตคอลการสื่อสาร และการกำหนดค่าตัวโหลด/ตัวปลดกระสุน
ระบบแบบอินไลน์สามารถเตรียมพื้นผิวหรือชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ก่อนกระบวนการเคลือบ การเชื่อม หรือการจ่ายสาร โดยไม่ทำให้กระบวนการผลิตหยุดชะงัก
ยืนยัน: ขนาดของแผง, ความสูงของสายพานลำเลียง, ความสม่ำเสมอในการบำบัด, ความเร็วของสายการผลิต, ระยะห่างของผลิตภัณฑ์ และส่วนเชื่อมต่อต้นน้ำ/ปลายน้ำ
ระบบระดับเวเฟอร์ต้องการการควบคุมที่เข้มงวดมากขึ้นในด้านขนาดเวเฟอร์ วิธีการรองรับ การป้องกันขอบ การเปิดรับแสงด้านหลัง ความสม่ำเสมอของการประมวลผล และความไวของอุปกรณ์
ยืนยัน: ขนาดเวเฟอร์หรือแผง, ตัวยึด, พอร์ตโหลดหรือตลับ, ความสม่ำเสมอของกระบวนการ, โหมดพลาสมา และปริมาณการสัมผัสกับไอออนหรือรังสียูวีที่อนุญาต
ห้องตัดและระบบอัตโนมัติจะต้องเหมาะสมกับผลิตภัณฑ์จริง ความสามารถในการตัดด้วยพลาสมาเพียงอย่างเดียวไม่ได้รับประกันว่าเครื่องจักรจะสามารถจัดการกับแผ่นโลหะ เวเฟอร์ วัสดุรองรับ หรือตัวลำเลียงที่ต้องการได้
แพ็คเกจ IC, ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์แบบแยกชิ้น, แหล่งจ่ายไฟ และเซ็นเซอร์
ความกว้างของแถบ, ประเภทของแม็กกาซีน, ระยะห่างระหว่างขั้วไฟฟ้า, ระยะห่างระหว่างผลิตภัณฑ์กับชิ้นงาน, ทิศทางการถ่ายโอน และเวลาต่อรอบ
WLP คือเทคโนโลยีการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงและการเตรียมพื้นผิวเวเฟอร์
ขนาดของเวเฟอร์หรือแผง, ตัวยึด, การป้องกันขอบ, ความสม่ำเสมอ, การเปิดรับแสงด้านหลัง และความไวของอุปกรณ์
เตรียมการก่อนการใช้งาน การยึดติด หรือการเคลือบผิว
ขนาดแผง, พื้นที่การบำบัด, ส่วนต่อประสานสายพานลำเลียง, อุปกรณ์ยึด, ความเร็วสายการผลิต และกระบวนการแปรรูปวัสดุขั้นต่อไป
การวิจัยและพัฒนา การตรวจสอบคุณสมบัติ และการผลิตที่ยืดหยุ่น
การออกแบบชั้นวาง, ที่ยึดตัวอย่าง, ความยืดหยุ่นของสูตร, การควบคุมการปนเปื้อนข้าม, ตัวเลือกก๊าซ และการเข้าถึงเพื่อการบำรุงรักษา
คุณไม่จำเป็นต้องมีสูตรพลาสมาที่เสร็จสมบูรณ์ก่อนที่จะขอซื้อเครื่อง การรีวิวที่ดีควรเริ่มต้นด้วยตัวผลิตภัณฑ์ ขั้นตอนต่อไป และผลลัพธ์ที่คุณต้องการจากการปรับสภาพพื้นผิว
โปรดแบ่งปันข้อมูลที่มีอยู่แล้ว จากนั้นเราจะสามารถระบุได้ว่ารายละเอียดใดของห้องทดลอง เส้นทางก๊าซ แหล่งกำเนิดพลาสมา ระบบการจัดการ และระบบอัตโนมัติที่ยังต้องการการยืนยันเพิ่มเติม
แผ่นเวเฟอร์, แถบเวเฟอร์, โครงตะกั่ว, แผ่นรองพื้น, แผงควบคุม, ตัวนำ, แม็กกาซีน หรืออุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ รวมถึงขนาดและทิศทางการวาง
การกำจัดคราบตกค้างที่เลือกไว้ การลดออกไซด์ การกระตุ้นพื้นผิว การปรับปรุงการเปียก หรือการเตรียมพื้นผิวก่อนการยึดติด การอุดช่องว่าง การขึ้นรูป หรือการเคลือบผิว
ระบุโลหะ โพลิเมอร์ พื้นผิวทางแสง โครงสร้าง MEMS หรือวัสดุอื่นๆ ที่อาจจำกัดการสัมผัสกับไอออน ความร้อน หรือรังสียูวี
ข้อกำหนดด้านปริมาณการผลิตต่อชุด เป้าหมายรอบการผลิต การจัดเก็บสูตรการผลิต บาร์โค้ด การบันทึกข้อมูล SECS/GEM และการสื่อสารแบบเรียลไทม์
ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิต ระบบไฟฟ้า อากาศอัด ระบบทำความเย็น ระบบดูดอากาศ พื้นที่ใช้สอย และข้อกำหนดด้านความปลอดภัยในพื้นที่
เราเคยเห็นผู้ซื้อซื้อเครื่องทำความสะอาดพลาสมามือสองโดยดูจากหมายเลขรุ่น แล้วพบว่าอิเล็กโทรดในห้องทำความสะอาดสึกหรอ หรือเครื่องกำเนิดคลื่นวิทยุ (RF generator) ไม่ได้มาตรฐาน ซึ่งปัญหาเหล่านี้มีค่าใช้จ่ายมากกว่าเงินที่ประหยัดไปในตอนแรก เครื่องทำความสะอาดพลาสมาแบบเดียวกันอาจมีห้องทำความสะอาด เครื่องกำเนิดคลื่นวิทยุ อิเล็กโทรด ท่อส่งก๊าซ ปั๊ม ซอฟต์แวร์ และโมดูลควบคุมอัตโนมัติที่แตกต่างกัน ใบเสนอราคาควรระบุเครื่องที่จะจัดส่งให้จริง
โปรดยืนยันข้อมูลแพลตฟอร์ม ปีที่ผลิต หมายเลขซีเรียล และตำแหน่งปัจจุบันให้แน่ชัด
ระบุขนาดห้องทดลอง การจัดวางอิเล็กโทรด ความถี่ RF และการกำหนดค่ากำลังไฟ
ตรวจสอบช่องทางก๊าซ การควบคุมการไหล รุ่นปั๊ม ระบบไล่ก๊าซ และเส้นทางไอเสีย
ตรวจสอบโมดูลการจัดการ ซอฟต์แวร์สูตรอาหาร ใบอนุญาต บาร์โค้ด การบันทึกข้อมูล และส่วนติดต่อผู้ใช้ในโรงงาน
ตรวจสอบการสึกหรอของอิเล็กโทรด คราบสะสมในห้องสูบ ประวัติการซ่อมบำรุงปั๊ม ซีล วาล์ว และขอบเขตการซ่อมแซม
รายการดังกล่าวประกอบด้วย ชั้นวาง เรือ อุปกรณ์ขนส่ง คู่มือ อะไหล่ หม้อแปลง และข้อกำหนดในการติดตั้ง
คำถามเหล่านี้ช่วยแยกแยะประเภทของอุปกรณ์ เส้นทางกระบวนการ และการกำหนดค่าจริงก่อนที่จะจัดทำใบเสนอราคา
อาจช่วยได้เมื่อสารปนเปื้อนอินทรีย์ที่เลือกไว้ สภาพออกไซด์ หรือพลังงานพื้นผิวต่ำส่งผลกระทบต่อกระบวนการ พลาสมาออกซิเจนเป็นวิธีการทั่วไปสำหรับการกำจัดสารอินทรีย์ ในขณะที่อาร์กอนใช้สำหรับการลดออกไซด์บนพื้นผิวโลหะ ควรตรวจสอบวัสดุของผลิตภัณฑ์ แหล่งที่มาของสารปนเปื้อน และวิธีการยึดติดก่อนเลือกอุปกรณ์หรือสูตร
ระบบการผลิตแบบเป็นชุดจะป้อนผลิตภัณฑ์เข้าสู่ห้องโดยใช้ถาด ชั้นวาง หรือตัวลำเลียง และมักถูกเลือกใช้เนื่องจากมีความยืดหยุ่น ระบบอัตโนมัติจะเพิ่มการจัดการแบบแถบ แบบแม็กกาซีน แบบแผ่นเวเฟอร์ หรือแบบสายพานลำเลียง เพื่อให้ได้การผลิตที่ทำซ้ำได้และบูรณาการเข้ากับโรงงาน
ออกซิเจนจะออกซิไดซ์สารปนเปื้อนอินทรีย์ให้กลายเป็นสารระเหยที่ถูกสูบออกไป ซึ่งเป็นวิธีการกำจัดฟิล์มอินทรีย์ก่อนการเคลือบหรือการพิมพ์ อาร์กอนทำงานโดยการกระแทกไอออนทางกายภาพมากกว่าทางเคมี ช่วยลดความหนาของออกไซด์บนโลหะ ซึ่งเป็นวิธีการกำจัดออกไซด์ออกจากแผ่นเชื่อมต่อหรือส่วนต่อประสานโลหะก่อนการเชื่อมต่อ การที่ข้อกำหนดการทำความสะอาดด้วยพลาสมาส่วนใหญ่เข้าใจผิดว่าก๊าซทั้งสองชนิดนี้สามารถใช้แทนกันได้
ไม่ พลาสมามีประสิทธิภาพสำหรับสารตกค้างอินทรีย์หลายชนิดและงานกระตุ้นพื้นผิว แต่สำหรับอนุภาค การปนเปื้อนของไอออน และคราบสกปรกหนา อาจยังคงต้องใช้กระบวนการทำความสะอาดแบบเปียกหรือการทำความสะอาดเชิงกลอยู่ดี
ตรวจสอบรุ่น ห้องสุญญากาศ เครื่องกำเนิดคลื่นวิทยุ อิเล็กโทรด ระบบควบคุมแก๊ส ปั๊มสุญญากาศ เครื่องป้อนวัสดุ ซอฟต์แวร์ ประวัติการทำงาน ความสะอาดของห้องสุญญากาศ บันทึกการบำรุงรักษา อุปกรณ์ประกอบ และความต้องการด้านสาธารณูปโภคของโรงงาน
โปรดระบุผลิตภัณฑ์เป้าหมาย ขนาด การปนเปื้อนหรือลักษณะพื้นผิวที่ต้องการตรวจสอบ กระบวนการถัดไป ระบบอัตโนมัติที่ต้องการ เส้นทางการไหลของก๊าซ ปริมาณการผลิต สภาพของอุปกรณ์ และประเทศปลายทาง หมายเลขรุ่นของอุปกรณ์จะเป็นประโยชน์ แต่ไม่จำเป็นต้องระบุก็ได้
โปรดส่งรูปแบบผลิตภัณฑ์ วัตถุประสงค์ของพื้นผิว กระบวนการถัดไป และข้อกำหนดทางเคมีของก๊าซ เราจะยืนยันความพร้อมใช้งาน ความเข้ากันได้ของห้อง และความสมบูรณ์ของการกำหนดค่าภายใน 4 ชั่วโมงทำการ