เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์มือสอง

เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์เป็นระบบทำความสะอาดแบบแยกส่วนที่กำจัดสิ่งปนเปื้อน สถานีทำความสะอาดเวเฟอร์มักจะเป็นโมดูลหนึ่งในสายการผลิตขนาดใหญ่หรือเครื่องมือแบบคลัสเตอร์ ซึ่งใช้สำหรับขั้นตอนการทำความสะอาดเฉพาะอย่าง คำศัพท์ทั้งสองมีความหมายทับซ้อนกัน แต่ระดับการบูรณาการแตกต่างกัน

การขัดด้วยแปรงเหมาะที่สุดสำหรับการกำจัดอนุภาคหลังการขัดเงา (CMP) หรือการตัดแบ่ง การทำความสะอาดด้วยการพ่นเหมาะสำหรับการกำจัดคราบฟลักซ์และทำความสะอาดบรรจุภัณฑ์ การทำความสะอาดด้วยคลื่นเสียงความถี่สูง (Megasonic) ใช้สำหรับการกำจัดอนุภาคขนาดเล็กที่ต้องลดการสัมผัสทางกายภาพให้น้อยที่สุด การเลือกใช้ขึ้นอยู่กับประเภทของสิ่งปนเปื้อนและความไวของพื้นผิวเวเฟอร์

ขนาดของเวเฟอร์ วิธีการทำความสะอาด ความเข้ากันได้ของสารเคมี ระดับการทำงานอัตโนมัติ สภาพของแปรง/หัวฉีด ประเภทของหัวจับ ซอฟต์แวร์ ตัวเลือกการจัดการ อุปกรณ์เสริมที่รวมอยู่ และสภาพของอุปกรณ์ ล้วนส่งผลต่อราคา แพลตฟอร์มห้องปฏิบัติการแบบใช้แรงงานคนไม่ควรนำมาเปรียบเทียบโดยตรงกับระบบการผลิตอัตโนมัติเต็มรูปแบบ

แพลตฟอร์มแบบโมดูลาร์บางรุ่นสามารถปรับเปลี่ยนการกำหนดค่าได้ แต่ประเภทแปรง สารเคมี การกำหนดค่าหัวฉีด และระบบการจัดการจะแตกต่างกันไปตามการใช้งานทั้งสองแบบ ควรตรวจสอบการรองรับสำหรับการกำหนดค่าจริงมากกว่าที่จะอนุมานจากชื่อรุ่นพื้นฐาน

โปรดยืนยันรุ่นและหมายเลขซีเรียลที่ครบถ้วน ขนาดเวเฟอร์ วิธีการทำความสะอาด สภาพของแปรงและหัวฉีด ความเข้ากันได้ของสารเคมี การสึกหรอของหัวจับและโมดูลหมุน เวอร์ชันซอฟต์แวร์และใบอนุญาต ตัวเลือกการจัดการ อุปกรณ์เสริมที่รวมอยู่ สภาพการใช้งาน และประวัติการบริการ

ระบบบางระบบสามารถรองรับวัสดุตั้งต้น เช่น SiC, GaN, แซฟไฟร์ หรือกระจกได้ แต่คุณสมบัติทางเคมี แรงดันในการใช้งาน และขีดจำกัดความเสียหายจะแตกต่างกัน จึงต้องตรวจสอบความเข้ากันได้สำหรับวัสดุเฉพาะและรูปแบบการติดตั้งก่อนเสมอ