Peralatan Pembersihan Wafer Semikonduktor

Mesin Pembersih Wafer Terpakai

Kami menyimpan pembersih wafer terpakai daripada TEL, SCREEN, SEMES, LAM Research dan platform lain — penggosok pasca-potong dadu, pembersih pasca-CMP, sistem basah wafer tunggal dan alat penyingkiran fluks. Unit yang sesuai dengan rangkaian anda bergantung pada empat perkara: jenis pencemaran, keadaan wafer, kaedah pembersihan dan proses hiliran. Kebanyakan pembelian pembersih wafer terpakai yang tidak kena akan gagal pada salah satu daripada empat perkara ini. Beritahu kami keperluan anda dan kami akan menyenarai pendek sistem yang benar-benar berfungsi pada rangkaian anda.

Serpihan Pasca-Dicing Bubur Pasca-CMP Penyingkiran Sisa Fluks Wafer Tunggal & Kelompok
Peralatan yang Tersedia

Pembersih Wafer Terpakai yang Tersedia

Dua pembersih wafer dengan nama model yang sama boleh mempunyai keupayaan yang sangat berbeza. Jenis berus yang dipasang, konfigurasi muncung, keserasian kimia, chuck dan sistem pengendalian lebih penting daripada nama platform sahaja. Semak inventori semasa, kemudian hantarkan keperluan pencemaran dan proses anda kepada kami untuk pemeriksaan konfigurasi.

Mencari pembersih wafer TEL, SCREEN, SEMES, LAM Research atau yang lain yang khusus? Hantarkan nombor model walaupun ia tidak dipaparkan pada masa ini — pasukan penyumberan kami akan menyemak ketersediaan.

Used Semiconductor Cleaning Machine AC-420 Wafer Cleaner

Mesin Pembersih Semikonduktor AC-420

Pembersih plasma sebaris. Menanggalkan fluks dan sisa organik/bukan organik selepas pematerian. Menjalankan rangka plumbum dan IGBT. Suhu dan l...

Pilih mengikut Jenis Pencemaran

Pencemaran Apakah Yang Anda Singkirkan?

Kami telah melihat pembeli memesan "pembersih wafer" yang menjangkakan penggosok pasca-CMP, kemudian mendapati unit tersebut dikonfigurasikan untuk penyingkiran serpihan pasca-potongan dadu — kedua-duanya menggunakan jenis berus, konfigurasi muncung dan sistem pengendalian yang berbeza. Kenal pasti apa yang ada pada wafer dan proses seterusnya sebelum membandingkan jenama, tahap automasi atau spesifikasi mesin.

01

Serpihan Pasca-Dicing

Zarah dan serpihan terhasil semasa pemotongan dadu. Memerlukan penyentalan berus, pembersihan semburan atau bilasan megasonik dengan pengendalian tepi untuk mengelakkan kerosakan.

02

Bubur Pasca-CMP

Zarah buburan dan sisa penggilapan selepas penyamarataan mekanikal kimia. Biasanya memerlukan penggosokan berus PVA dua sisi dan bantuan megasonik.

03

Residu Fluks

Sisa fluks dan pateri selepas pembungkusan atau pematerian. Memerlukan pembersihan semburan dengan air DI dan bahan kimia yang serasi, selalunya dengan peringkat yang dipanaskan.

04

Organik / Logam

Filem organik, pencemaran logam atau zarah daripada pengendalian. Mungkin memerlukan pemprosesan meja basah, pembersihan kimia atau kaedah berasaskan plasma.

05

Kaedah Pembersihan

Penggosok, semburan, basah wafer tunggal, basah kelompok atau megasonik. Kaedah tersebut mesti sepadan dengan jenis pencemaran, permukaan wafer dan sasaran kebersihan.

Jalan pintas jualan: Beritahu kami apa yang ada pada wafer dan proses seterusnya. Kemudian, kami boleh mempersempitkan kaedah pembersihan, keserasian kimia dan tahap automasi tanpa perlu anda menentukan setiap komponen terlebih dahulu.

Pilih mengikut Keadaan Wafer

Standard, Nipis, Terbentur atau Kompaun — Setiap Satu Mengubah Konfigurasi

"Pembersih wafer" ialah kategori peralatan yang luas. Sistem untuk wafer silikon standard tidak sesuai secara automatik untuk substrat semikonduktor MEMS ultra nipis, berbonjol, atau sebatian.

01Silikon Piawai

Wafer konvensional yang mana penyentalan berus atau semburan pembersihan standard boleh menanggalkan zarah tanpa kerosakan permukaan.

Berus PVAAir DIChuck Standard
02Ultra Nipis / TAIKO

Wafer nipis dan profil TAIKO memerlukan sokongan khas, tekanan yang dikurangkan dan pengendalian tepi yang terkawal untuk mengelakkan kerosakan.

Tekanan RendahKawalan TepiChuck Khas
03Terbentur / Berstruktur

Bonggol, struktur MEMS, ciri-ciri bahagian belakang atau permukaan rapuh mungkin memerlukan pembersihan tanpa sentuhan dan resipi khusus.

Tanpa SentuhanMegasonikResipi Khusus
04SiC / GaN / Safir

Substrat jurang jalur lebar dan sebatian mungkin memerlukan kimia, pengendalian dan had kerosakan yang berbeza berbanding silikon.

Serasi dengan KimiaKhusus BahanKawalan Kerosakan
05Kaca / Substrat

Pembawa kaca, panel dan substrat memerlukan kawalan kerataan, pengendalian yang lembut dan kimia pembersihan yang serasi.

Kawalan KerataanPengendalian LembutSerasi dengan Panel
06Pembersihan Pakej / Fluks

Peranti dan substrat yang dibungkus selepas pematerian memerlukan penyingkiran sisa fluks dengan semburan atau pembersihan rendaman.

Pembersihan SemburanPenyingkiran FluksPentas Dipanaskan
Kaedah Pembersihan

Penggosok, Sembur, Wafer Tunggal atau Kelompok?

Kaedah pembersihan mesti sepadan dengan jenis pencemaran, permukaan wafer dan sasaran kebersihan. Setiap kaedah mempunyai kekuatan dan batasan yang berbeza.

Titik KeputusanPenggosok BerusPembersih SemburanWafer Tunggal BasahBangku Basah Kelompok
Penggunaan BiasaPenyingkiran zarah pasca-CMP dan pasca-dadu pada wafer standard.Penyingkiran sisa fluks dan pembersihan pakej selepas pematerian.Pembersihan 200mm/300mm lanjutan dengan pelbagai bahan kimia.Pemprosesan kelompok untuk penyingkiran zarah dan organik dalam jumlah tinggi.
Tindakan PembersihanPenggosokan berus PVA, selalunya dua sisi, dengan bilasan megasonik pilihan.Semburan air DI tekanan tinggi dengan kimia pilihan dan peringkat yang dipanaskan.Putar pembersihan dengan dispenser bahan kimia, bilas dan keringkan dalam satu ruang.Rendam atau sembur di dalam bangku basah dengan rendaman kimia dan bilas.
Pengendalian WaferPengendalian sentuhan tepi untuk mengelakkan sentuhan hadapan/belakang.Pemuatan kaset atau dulang, sesuai untuk peranti yang dibungkus.Pengendalian wafer tunggal dengan modul chuck dan putaran vakum.Pemuatan kelompok berasaskan kaset dengan rendaman atau semburan.
Soalan Pembelian TerbaikApakah jenis berus, kawalan tekanan dan pengendalian tepi yang disertakan?Apakah keserasian kimia, tekanan semburan dan kaedah pengeringan yang dikonfigurasikan?Berapa banyak bahan kimia yang boleh dikendalikan, dan apakah julat saiz wafernya?Apakah konfigurasi mandian, keserasian kimia dan daya pemprosesan yang disertakan?

Inventori semasa mungkin tertumpu pada pembersih pengeluaran.Kami masih boleh menyemak keperluan untuk sistem pembersihan manual, R&D atau khusus melalui rangkaian penyumberan.

Tanya Kaedah Mana Yang Sesuai
Harga Pembersih Wafer

Mengapa Harga Pembersih Wafer Berbeza-beza Dengan Sangat Banyak

Hasil carian sering menggabungkan platform makmal manual kecil dengan sistem automatik sepenuhnya 300 mm. Sistem tersebut tergolong dalam kelas harga yang sangat berbeza, jadi sebut harga yang berguna mesti bermula dengan jenis pencemaran dan konfigurasi sebenar.

Bagi peralatan terpakai, tahun sahaja tidak menjelaskan nilainya. Keadaan berus dan muncung, haus modul chuck dan spin, keserasian kimia, versi perisian, pilihan pengendalian, aksesori yang disertakan dan kebolehgunaan boleh memberi kesan yang lebih besar terhadap pembelian akhir.

Minta Harga Semasa
Sempadan Peralatan

Pembersih Wafer, Pemasangan Wafer dan Gergaji Dadu Adalah Bahagian Aliran Yang Berbeza

Pembeli sering menggunakan istilah ini bersama-sama, tetapi setiap kategori peralatan mempunyai tugas yang berbeza. Menjelaskan sempadan menghalang sebut harga untuk pembersih apabila keperluan sebenar adalah pemasang atau gergaji dadu.

Pembersih Wafer

Mengeluarkan zarah, buburan, fluks atau serpihan daripada permukaan wafer sebelum langkah proses seterusnya.

Lihat Model

Pemasangan Wafer

Menyapukan pita dadu atau pita pelindung pada wafer dan bingkai sebelum memotong atau mengisar semula.

Peralatan Pemasangan Wafer

Pembersih Plasma

Cucian kering dan pengaktifan permukaan di mana pencemaran atau lekatan mempengaruhi proses seterusnya.

Sistem Pembersihan Plasma
Semakan Konfigurasi

Kami Membantu Menukar Masalah Pencemaran Menjadi Senarai Pendek Peralatan

Anda tidak perlu menyediakan spesifikasi lengkap sebelum menghubungi kami. Mulakan dengan apa yang terdapat pada wafer dan proses seterusnya. Kami akan mengenal pasti titik konfigurasi yang hilang dan menyemak peralatan yang tersedia berbanding keperluan pembersihan sebenar.

Mulakan Pertanyaan Pembersih Wafer
Anda Menyediakan 01

Pencemaran

Zarah, buburan, fluks, organik, logam atau serpihan daripada pemotongan dadu atau CMP.

Anda Menyediakan 02

Wafer & Proses

Saiz wafer, bahan, ketebalan, bonggol dan langkah proses hiliran.

Kami Mengesahkan 03

Kaedah Pembersihan

Penggosok, semburan, basah wafer tunggal, basah kelompok atau megasonik, dengan keserasian kimia.

Kami Mengesahkan 04

Skop Bekalan Sebenar

Model, nombor siri, perisian, keadaan berus/muncung, aksesori dan sokongan penghantaran.

Soalan Pembeli

Soalan Lazim Pembersih Wafer

Jawapan-jawapan ini merangkumi soalan-soalan yang paling kerap mempengaruhi pemilihan peralatan, integrasi dan sebut harga.

Apakah perbezaan antara pembersih wafer dan stesen pembersihan wafer?

Pembersih wafer ialah sistem pembersihan kendiri yang menyingkirkan pencemaran. Stesen pembersihan wafer biasanya merupakan satu modul dalam barisan proses atau alat kluster yang lebih besar, yang dikhaskan untuk langkah pembersihan tertentu. Istilah-istilahnya bertindih, tetapi tahap integrasinya berbeza.

Bagaimanakah saya boleh memilih antara berus, semburan dan pembersihan megasonik?

Menggosok berus adalah yang terbaik untuk penyingkiran zarah selepas CMP atau pemotongan dadu. Pembersihan semburan sesuai untuk sisa fluks dan pembersihan bungkusan. Pembersihan megasonik digunakan untuk penyingkiran zarah halus di mana sentuhan fizikal mesti diminimumkan. Pilihan bergantung pada jenis pencemaran dan kepekaan permukaan wafer.

Apakah yang menentukan harga pembersih wafer?

Saiz wafer, kaedah pembersihan, keserasian kimia, tahap automasi, keadaan berus/muncung, jenis chuck, perisian, pilihan pengendalian, aksesori yang disertakan dan keadaan peralatan semuanya mempengaruhi harga. Platform makmal manual tidak boleh dibandingkan secara langsung dengan sistem pengeluaran automatik sepenuhnya.

Bolehkah satu pembersih wafer mengendalikan pembersihan pasca-potong dadu dan pasca-CMP?

Sesetengah platform modular boleh dikonfigurasikan semula, tetapi jenis berus, kimia, konfigurasi muncung dan sistem pengendalian berbeza antara kedua-dua aplikasi. Sokongan harus disahkan untuk konfigurasi sebenar dan bukannya disimpulkan daripada nama model asas.

Apakah yang perlu diperiksa semasa membeli pembersih wafer terpakai?

Sahkan model lengkap dan nombor siri, saiz wafer, kaedah pembersihan, keadaan berus dan muncung, keserasian kimia, haus modul chuck dan spin, versi dan lesen perisian, pilihan pengendalian, aksesori yang disertakan, keadaan operasi dan sejarah servis.

Bolehkah pembersih wafer memproses wafer semikonduktor sebatian?

Sesetengah sistem boleh mengendalikan substrat SiC, GaN, nilam atau kaca, tetapi kimia, tekanan pengendalian dan had kerosakan berbeza. Keserasian mesti disahkan untuk bahan tertentu dan konfigurasi yang dipasang.

Minta Sebut Harga Pembersih Wafer Terpakai

Hantarkan model pembersih wafer—atau huraikan jenis pencemaran dan keadaan wafer. Kami akan mengesahkan ketersediaan, kelengkapan konfigurasi dan keserasian pembersihan dalam masa 4 jam perniagaan.

Minta Sebut Harga