成熟したウェーハ製造における定番のリソグラフィトラックツールであるDNS SKW80は、 コーティング装置および現像システム 6インチ/8インチウェハー向けのフォトレジスト処理全体を効率化します。コーティング、ベーキング、現像のワークフローを統合し、安定したリソグラフィパターニングのための一貫した露光前および露光後処理を実現します。
コンパクトな単一ブロック構造と柔軟な設計で構築されています 1C+2Dプロセス構成このシステムは、高精度なフォトレジスト塗布、均一な成膜、正確なパターン現像をサポートします。信頼性の高いHMDS処理モジュールと温度制御モジュールを搭載し、コーティングの欠陥やパターンの歪みを排除し、ウェハ内における優れた均一性を実現します。
その合理化された設計により、不要なダウンタイムを削減し、日常的なメンテナンスを簡素化します。このトラックは既存のクリーンルームラインにシームレスに組み込むことができ、フォトリソグラフィの出力を安定させ、ウェハバッチ間のばらつきを低減します。
DNS SKW80の主な仕様
| メーカー | DNS |
|---|---|
| モデル | SKW80 |
| 機器の種類 | ウェハーコーターおよび現像トラックシステム |
| 対応ウェハサイズ | 入手可能なリストによると、6インチと8インチのウェハー |
| 記載されているプロセス構成 | 1C+2D、2Cまたは2D。実際に搭載されているモジュールは確認が必要です。 |
| 主要プロセス | フォトレジストの塗布と現像 |
| 状態 | 中古半導体製造装置 |
| 可用性 | 現在の在庫状況および構成確認が必要です。 |
主な機器機能
150mmおよび200mmウェハ処理用に設計されています
フォトレジストの塗布および現像工程に適しています。
利用可能なリストには、コーティングモジュールと現像モジュールの組み合わせが記載されています。
半導体フォトリソグラフィプロセスラインに適用可能
実際の熱、伝達、および薬品供給構成は異なる場合があります
