家 > 製品 > 半導体製造装置(バックエンド) > 包装および最終仕上げ機器 > レーザーマーキングマシン >

ThinkLaser HM300 自動300mmウェハーハードマーキングシステム

ThinkLaser HM300は、300mmウェハに完全自動でハードマーキングを施します。深さは最大110μm、±10%の精度でプログラム可能です。Dual-Spot Optics™により、同一装置上で50μmと110μmのスポットサイズを切り替えることができます。マーキングは高温、化学薬品処理、研磨工程にも耐えます。SECS II/GEM、OHTに対応しています。

ThinkLaser HM300 Automated 300 mm Wafer Hard Marking System 機器画像
構成レビュー モデルと搭載オプション
新品/中古品 プロジェクトの利用状況によります
グローバルデリバリー 目的地別評価
技術RFQ パッケージとプロセスのマッチング

の ThinkLaser HM300 フルサイズ300mmウェハへの永久レーザーハードマーキングを自動化します。統合された光学系とハンドリングサブシステムにより、ウェハを安全にロードおよび位置決めし、マーキングシーケンス中にデリケートな基板表面に傷や熱による損傷が生じるのを防ぎます。

文字の品質と位置は完全に制御可能です。本システムは、トレーサビリティのために鮮明で耐久性のあるエッジコードを生成し、SEMI業界規格に準拠しています。オペレーターは、さまざまなウェハ材料に合わせてマーキングパラメータを簡単に調整でき、既存の300mmウェハ製造ワークフロー内での連続運転をサポートします。

ThinkLaser HM300 Automated 300 mm Wafer Hard Marking System