高性能リソグラフィトラックとして、TEL MARK Vzは統合されています。 コーティング剤および現像剤 量産ライン向けの200mmウェハフォトレジスト処理に対応。HMDSプライミング、レジストスピンコーティング、ベーキング、パターン現像を単一の自動化プラットフォーム内でシームレスに連携させます。
最適化された流体供給と温度管理により、 フォトレジストの均一性 ウェーハ表面全体にわたって、高度なエッジビード除去と環境隔離が連携して、粒子発生を抑制し、パターニング欠陥を低減します。
長時間の連続運転を想定して設計されたこのトラックは、高いスループットと容易な予防保守を両立させています。パワーデバイスやディスクリート半導体製造工場において、安定したリソグラフィ出力を維持するために広く採用されています。
TEL MARK Vzの主な仕様
| メーカー | 東京エレクトロン株式会社 |
|---|---|
| ブランド | 電話 |
| モデル | マークVz |
| 機器の種類 | ウェハーコーターおよび現像トラックシステム |
| 対応ウェハサイズ | 入手可能なリストによると、6インチウェハー |
| リストされたプロセス構成 | 2Cおよび2D。実際に設置されたモジュールを確認する必要があります。 |
| 主要プロセス | フォトレジストの塗布と現像 |
| 状態 | 中古半導体製造装置 |
| 可用性 | 現在の在庫状況および構成確認が必要です。 |
