作為高性能光刻軌道，TEL MARK Vz 集成 塗佈機和顯影機 適用於200mm晶圓光阻批量生產線的加工。它將HMDS預處理、光阻旋塗、烘烤和顯影等工序無縫整合到一個自動化平台中。
優化的流體輸送和溫度管理可實現對溫度的嚴格控制 光阻均勻性 在晶圓表面，先進的邊緣珠去除技術和環境隔離技術協同作用，抑制顆粒生成並減少圖案缺陷。
這款光刻軌道專為長時間連續運轉而設計，兼顧了高產能和便利的預防性維護。它廣泛應用於功率元件和分離半導體製造廠，以維持穩定的光刻輸出。
電話標誌 Vz 主要規格
| 製造商 | 東京電子有限公司 |
|---|---|
| 品牌 | 電話 |
| 模型 | MARK Vz |
| 設備類型 | 晶圓塗覆機和顯影機軌道系統 |
| 支援的晶圓尺寸 | 根據現有清單，是6吋晶圓。 |
| 列出的流程配置 | 2C 和 2D；必須確認實際安裝的模組。 |
| 初級過程 | 光阻塗覆及顯影 |
| 狀態 | 二手半導體設備 |
| 可用性 | 以當前庫存和配置確認為準 |
